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崔宁
作品数:
47
被引量:10
H指数:2
供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
语言文字
文化科学
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合作作者
刘杨
哈尔滨工业大学
于志亮
哈尔滨工业大学
陈兴林
哈尔滨工业大学
徐川川
哈尔滨工业大学
高怡然
哈尔滨工业大学
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1篇
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1篇
2002
1篇
2001
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47
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多轴运动台高速精密控制装置及方法
多轴运动台高速精密控制装置及方法,涉及多轴运动台高速精密控制领域,是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足,以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法,通过以太网进行数据交...
刘杨
崔宁
宋法质
董岳
李理
谭久彬
小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法
小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法,属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上,左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面;右双极电磁铁的...
刘杨
缪骞
崔宁
文献传递
浅谈日语中的拟声拟态词
被引量:4
2002年
本文论述了日语中的拟声词和拟态词的来源和用法。
张红涛
崔宁
关键词:
日语
拟声词
拟态词
用法
一种超精密运动台垂向三自由度静态解耦迭代校正方法
一种超精密运动台垂向三自由度静态解耦迭代校正方法,属于超精密运动控制领域。所述三自由度分别为Z‑垂向平动运动自由度,Rx‑绕X轴的旋转运动自由度,Ry‑绕Y轴的旋转运动自由度;所述方法的校正对象是m×n维的静态控制解耦矩...
李理
赵洪阳
董岳
崔宁
一种矩阵式编码方式的绝对式码盘的误差补偿方法
一种矩阵式编码方式的绝对式码盘的误差补偿方法,涉及光电测量和自动控制领域。本发明解决了绝对式码盘处理误码能力不足的问题。所述方法包括如下步骤:一、利用四象限绝对式码盘读取相应码值;二、采用最外圈相差90度读数头,经过增量...
陈兴林
崔宁
耿光晓
于志亮
徐川川
刘杨
曹开锐
李松峰
一种光电编码器精码零偏、幅值自适应补偿方法
一种光电编码器精码零偏、幅值自适应补偿方法,它涉及的是光电编码器译码、补偿和调试等技术领域。为了解决现有的方法因复杂程度很高,译码电路的自适应性很差,而且观察示波器的得到的数据包含大量的人为误差,严重损耗了编码器的精度的...
陈兴林
崔宁
李松峰
于志亮
徐川川
刘杨
耿光晓
用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法
用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法,属于光电测量和自动控制技术领域。本发明针对绝对式光电码盘处理误码能力差,提出了一种复合式比较补偿算法。所述码盘误码校正方法通过以下步骤实现:增量码值w<Sub>2</Sub>和上一...
刘杨
崔宁
于志亮
文献传递
基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法
本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法,所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统,采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补...
刘杨
陈帅奇
宋法质
崔宁
一种超精密运动台垂向静态解耦与前馈联合迭代校正方法
一种超精密运动台垂向静态解耦与前馈联合迭代校正方法,属于超精密运动控制领域。该方法可通过一次校正过程同时完成静态控制解耦矩阵与前馈控制器的校正,简化了多自由度运动台控制系统的校正过程,提升了控制系统校正的效率,具有重要的...
李理
赵洪阳
董岳
崔宁
超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法
超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法,涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分,解耦控制部分包括静态解耦部分和动...
宋法质
刘杨
陈帅奇
崔宁
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