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张晓卫

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容薄膜
  • 1篇氧化铝
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇湿敏
  • 1篇湿敏元件
  • 1篇感器
  • 1篇AL
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇金懋昌
  • 1篇张晓卫
  • 1篇史青

传媒

  • 1篇电子科技大学...

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
α-Al_2O_3电容薄膜湿度传感器被引量：6
1997年
论述了氧化铝薄膜电容湿度传感器的性能，提出了采用α－Ａｌ２Ｏ３薄膜作湿敏层的新型氧化铝薄膜湿度传感器，简述了该湿敏元件的制备方法和基本特性。最后讨论了目前尚存在的问题。
史青张晓卫金懋昌
关键词：氧化铝湿敏元件传感器电容薄膜
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共1页<1>
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