张海涛
- 作品数：97 被引量：33H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种高精度曲率半径测试装置及方法
- 一种高精度曲率半径测试装置及方法属于光学元件几何参数测量技术领域，目的在于解决现有技术存在的被测试光学元件表面容易划伤和较难达到亚微米量级的检测不确定度的问题，本发明的平移倾斜调整台设置在Z向移动台上，Z向移动台任意相对...
- 张文龙苗亮刘钰于杰张海涛马冬梅金春水
- 文献传递
- 用于极紫外光刻非球面光学元件检测的补偿器检测系统研究
- 为了实现极紫外光刻投影物镜光学元件0.2～0.3nmRMS的面形检测精度要求,研究了超高精度光学元件检测方法.采用误差分解控制方法,设计了非球面补偿器检测系统.补偿器由提供透射球面波的前组及产生非球面分量的球面元件组成,...
- 王丽萍张海涛
- 关键词：NULLULTRAVIOLETLITHOGRAPHY
- 计算全息图案位置误差致波前误差的标定方法被引量：2
- 2023年
- 通过对计算全息图检测非球面的误差进行分析,提出了一种用于计算全息图检测非球面过程中图案位置误差引入的波前误差的标定方法。该方法先设计检测过程中所需要的辅助波前和检测波前在计算全息基板上所对应的相位分布,再通过光场叠加的方式得到复合相位。辅助波前用于计算实际位置与设计位置的偏差,进而计算出位置畸变引起的检测误差,并将其从系统中消除。检测波前用于得到与非球面匹配的波前,进而对非球面面形进行检测,并提出了图案位置误差引入的非球面波前差的计算方法。为评估该方法的可行性,将复合相位所对应的计算全息图导入衍射计算软件中进行仿真,同时得到了平面、球面和非球面各个级次的衍射光斑,证明了该方法的正确性。
- 张海涛张海涛徐乐
- 关键词：光学设计非球面计算全息
- 相移干涉成像-定向发射表面增强拉曼光谱仪
- 本发明实施例公开了一种相移干涉成像‑定向发射表面增强拉曼光谱仪，包括含有耦合棱镜和用于激发长程表面等离子体、且设置在耦合棱镜上的介质膜的光学耦合系统，用于输出激光、并将耦合棱镜反射回的激光和参考光进行干涉成像得到待测生物...
- 刘钰张海涛王丽萍
- 文献传递
- 大口径连续位相板拼接检测技术研究
- 2022年
- 区别于传统平面拼接检测方式,将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测,建立数学模型,通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合,完成连续位相板的检测,恢复其波前特征。本文通过仿真分析该方法的精度,并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集,对加工的连续位相板进行实验验证。通过仿真分析,拼接面形误差RMS约为0.0006λ,实验结果显示100mmCPPs,拼接面形误差RMS约为0.0143λ,子孔径拼接波前数据结果与全口径检测数据可以达到很好的一致性。
- 柴文松季鹏王波张海涛李铎
- 关键词：光学测量子孔径拼接
- 非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质
- 本发明实施例公开了一种非球面元件面形检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其中，方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网络模型得到的面形分布计算模型中，得到各子孔径的相对位置和重...
- 于杰张海涛金春水
- 文献传递
- 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模被引量：1
- 2010年
- 为了模拟用于球面面形高精度检测的相移点衍射干涉仪的测试过程,介绍了点衍射干涉仪的基本工作原理,分析了相移点衍射干涉仪的测量误差。利用光学设计软件和自行编制的软件建立了点衍射干涉仪的检测模型,利用该模型分别推导了参考光束和测试光束在干涉场的复振幅分布,模拟了测量过程。根据光的相干理论,通过改变被测镜的位置,实现移相,得到移相干涉图。最后对一设定的被检镜进行实验模拟,生成了两组对称倾斜的13步移相干涉图,对干涉图处理后计算得到了被检镜的检测面形。结果表明,在不引入硬件误差时,由相位提取和波面反演造成的检测面形与设定面形偏差为RMS值0.0783nm,PV值0.5656nm。
- 张海涛
- 关键词：点衍射干涉仪光学测量
- 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置
- 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置属于离子束加工领域，目的在于解决现有技术存在结构复杂且不能定方位角的问题。本发明的定心旋转底座上端面圆周均布六个键槽A；设置在空心旋转底座上的工件夹持底座，工件夹持底座设置有中心圆...
- 张海涛金春水马冬梅于杰
- 移相点衍射干涉仪误差分析
- 相移点衍射干涉仪(PSPDI)利用小孔衍射生成的近似理想的球面波充当测量光和参考光,摆脱了传统斐索或泰曼-格林干涉仪中参考镜面形精度的限制,检测精度可以达到深亚纳米量级,可达到超高精度斐索干涉仪中的光学元件的检测精度要求...
- 于杰张海涛金春水
- 文献传递
- 一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法
- 一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法，涉及光学加工领域，解决现有光学元件的抛光方法存在适用性差，在在抛光后再过多的去除材料会造成反射镜整体应力的改变，进而影响元件面形等问题，该方法包括反射镜形状和表面铣磨、...
- 张海涛刘钰王鹍毕春利金春水
- 文献传递
