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汪家友

作品数：60 被引量：161H指数：8
供职机构：西安电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金西安应用材料创新基金电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 44篇期刊文章
  • 13篇专利
  • 2篇科技成果
  • 1篇会议论文

领域

  • 31篇电子电信
  • 14篇理学
  • 4篇自动化与计算...
  • 3篇机械工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇电子回旋共振
  • 10篇淀积
  • 8篇等离子体
  • 8篇互连
  • 6篇氮化硅
  • 6篇刻蚀
  • 6篇A-C:F
  • 5篇气相淀积
  • 5篇微波谐振腔
  • 5篇化学气相淀积
  • 5篇ECR-CV...
  • 4篇低介电常数
  • 4篇电场
  • 4篇折变
  • 4篇铜互连
  • 4篇介电
  • 4篇介电常数
  • 4篇晶体
  • 4篇化学气相
  • 4篇化学气相沉积

机构

  • 60篇西安电子科技...
  • 1篇湘潭大学
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇陕西科技大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 60篇汪家友
  • 50篇杨银堂
  • 33篇吴振宇
  • 13篇李跃进
  • 13篇付俊兴
  • 9篇俞书乐
  • 8篇柴常春
  • 6篇陈光族
  • 5篇娄利飞
  • 5篇刘静
  • 5篇周端
  • 4篇苏祥林
  • 4篇刘毅
  • 4篇刘彬
  • 3篇徐新艳
  • 3篇蒋昱
  • 3篇过巳吉
  • 2篇林文琼
  • 2篇黄雪峰
  • 2篇李晓春

传媒

  • 5篇微纳电子技术
  • 5篇真空科学与技...
  • 4篇物理学报
  • 3篇微细加工技术
  • 3篇压电与声光
  • 2篇传感器技术
  • 2篇中国激光
  • 2篇真空科学与技...
  • 2篇电子器件
  • 2篇功能材料与器...
  • 2篇微电子学
  • 2篇西安电子科技...
  • 2篇真空电子技术
  • 1篇电子科技
  • 1篇半导体技术
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇功能材料
  • 1篇中国高新技术...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 13篇2008
  • 6篇2007
  • 6篇2006
  • 10篇2005
  • 10篇2004
  • 1篇2003
  • 2篇2002
  • 1篇1997
  • 1篇1996
  • 4篇1995
共 60 条 记 录，以下是 1-10
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