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王皓

作品数：27 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 4篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 8篇光刻
  • 4篇弹性铰链
  • 4篇探针
  • 4篇铰链
  • 4篇光刻机
  • 3篇散热
  • 3篇水冷
  • 3篇微米
  • 3篇泄露
  • 3篇静电
  • 2篇弹性体
  • 2篇挡板
  • 2篇电脑
  • 2篇电脑散热
  • 2篇电脑散热器
  • 2篇调平
  • 2篇噪音污染
  • 2篇支撑体
  • 2篇制冷
  • 2篇散热器

机构

  • 27篇电子科技大学

作者

  • 27篇王皓
  • 5篇黄洪钟
  • 5篇彭倍
  • 5篇曾志
  • 3篇李淼
  • 3篇于慧君
  • 3篇熊思勇
  • 2篇胡文峰
  • 2篇徐振源
  • 2篇杨静轩
  • 2篇范涛
  • 2篇刘海波
  • 1篇邓永强
  • 1篇郝晓红
  • 1篇刘乐天
  • 1篇幸勇
  • 1篇周吴
  • 1篇成志斌
  • 1篇宁鹏
  • 1篇丁莉

年份

  • 1篇2023
  • 6篇2021
  • 2篇2020
  • 7篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2011
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种共腔式气动绷膜机构
本发明公开了一种共腔式气动绷膜机构，其结构包括盘体、PVC软管、气缸挡板、小行程气缸、弹性扩张环、薄膜、进气口、卸气口、共腔式气流道体、绷膜盘支撑体、绷膜盘。PVC软管分别与盘体的共腔式气流道体和气缸挡板相连接；缸挡板分...
王皓王广平望凯力吕嗣鸿曹宇
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一种电极夹持机构及其应用于五轴电加工的方法
本发明公开了一种应用神经网络原理建立的曲面电加工参数与铣削加工参数对应的方法，该方法主要是利用现今市面上已有的五轴联动数控机床以及其数控系统，通过设计一种具有电极丝补偿结构的线轨迹电加工的夹持装置，应用神经网络方法，建立...
王皓望凯力王广平吕亦乐褚佳伟
文献传递
超精密温度控制装置
黄洪钟彭倍王皓曾志于慧君郝晓红周吴丁莉刘乐天邓永强李淼成志斌
围绕IC制造装备国家重大战略需求，针对光刻机部件超精密温度控制的技术目标，开展精密机械、传热学及流体动力学等协同创新研究，在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果。光刻机是超大规模集成电路制造的核心设备，包括曝光系...
关键词：
关键词：温度控制装置光刻机超大规模集成电路
一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法
本发明为保证在局域等离子体共振(LSPR)接触光刻中探针的力学状态，提出一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法。本发明所采用的设计方法是：根据探针的工作模式，确定铰链必须为对称结构。由于光刻胶表面所承受的压强有限，确...
王皓田思玉肖志文宁鹏熊思勇
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一种基于蜗轮蜗杆的空间薄膜镜展开及收拢机构
一种基于蜗轮蜗杆的空间薄膜镜展开及收拢机构，包括上下可折叠表面、蜗轮、蜗杆、拉索、可折叠弹性杆，其机构通过弹性铰链提供展开动力，通过蜗轮蜗杆提供收拢动力，二者之间通过拉索相连，一体化弹性铰链保证了展开后机构的长度精度，并...
王皓吕嗣鸿曹宇
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一种对称弹性夹持结构下轴线的高精度找正装置及方法
本发明涉及一种对称弹性夹持结构下轴线的高精度找正装置及方法，其要点是：激光发出的激光光束入射至夹持结构表面，经过反射后的反射光线投影到PSD屏幕上，形成反射光斑，输出位移值。弹性夹持结构沿X轴正反方向扫描，寻找到正反向扫...
王皓熊思勇刘海波田思玉
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一种用于非接触、点扫描曝光的SP光刻静电微距悬浮结构方案
本发明公开一种用于非接触、点扫描曝光的SP光刻静电微距悬浮结构方案，其方案通过静电排斥原理实现光刻探针头与下电极(感光面)之间悬浮，悬浮间距可达到SP光刻技术要求的1nm量级～10nm量级，并通过上电极与下电极(感光面)...
王皓褚佳伟王广平望凯力吕亦乐
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一种用于薄膜盘面绷紧的机构
一种用于薄膜盘面绷紧的机构，使得某光刻所用的薄膜在绷紧之后具有一定的内应力。本发明包括薄膜、上封盖、饼盘、下托盘、驱动推柱。其中，饼盘由六块结构完全相同的扇形体组成，每个扇形体包括扇形盘体、导向滑槽以及薄膜粘接凸台区域，...
王皓望凯力王广平吕嗣鸿曹宇
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一种共腔式气动绷膜机构
本发明公开了一种共腔式气动绷膜机构，其结构包括盘体、PVC软管、气缸挡板、小行程气缸、弹性扩张环、薄膜、进气口、卸气口、共腔式气流道体、绷膜盘支撑体、绷膜盘。PVC软管分别与盘体的共腔式气流道体和气缸挡板相连接；缸挡板分...
王皓王广平望凯力吕嗣鸿曹宇
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一种对接触式光刻探针的双铰链夹持结构
本发明针对接触式直写光刻的光刻头(下文称作“探针”)，提出一种双铰链的夹持结构。对比现有单铰链夹持结构，有效削减了探针在安装后自由状态下对理想轴线的位置偏差、探针在光刻胶上接触移动时对理想轴线的最大偏转角。同时，保持了探...
王皓王蔚涵褚佳伟徐芮吕亦乐
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