您的位置： 专家智库 > >

罗艳

作品数：92 被引量：27H指数：4
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：一般工业技术理学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 84篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 7篇一般工业技术
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 17篇密封
  • 16篇分压
  • 15篇质谱
  • 13篇质谱计
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱仪
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 10篇液滴
  • 10篇真空
  • 10篇紫外光刻
  • 10篇金属
  • 10篇光刻
  • 10篇法兰
  • 9篇散热
  • 9篇四极质谱仪
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率
  • 9篇极紫外
  • 7篇激光

机构

  • 92篇中国科学院光...
  • 2篇东南大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 92篇吴晓斌
  • 92篇罗艳
  • 91篇王魁波
  • 85篇张罗莎
  • 75篇陈进新
  • 68篇王宇
  • 27篇周翊
  • 18篇崔惠绒
  • 9篇张立佳
  • 3篇王宇
  • 2篇张晓兵
  • 2篇肖梅
  • 1篇徐向宇
  • 1篇杨玲玲
  • 1篇陈蕾
  • 1篇张鑫

传媒

  • 3篇真空科学与技...
  • 2篇真空与低温
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇分析测试技术...
  • 1篇质谱学报

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 5篇2019
  • 15篇2018
  • 13篇2017
  • 24篇2016
  • 9篇2015
  • 11篇2014
  • 11篇2013
共 92 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种材料分压放气率测试装置及方法
本发明公开了一种材料分压放气率测试装置及方法，该装置包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量...
张罗莎王魁波吴晓斌罗艳陈进新谢婉露王宇
一种分压漏率测量装置及方法
本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量装置及真空密封件分压漏率测量方法，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角...
王魁波张罗莎吴晓斌罗艳陈进新谢婉露王宇
文献传递
一种极紫外光源性能参数的测量系统
本实用新型公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波罗艳张罗莎王宇崔惠绒
文献传递
多元合金薄膜的制备装置
本实用新型涉及多元合金薄膜的制备装置，包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元，数据采集控制单元采集可转动基座...
吴晓斌罗艳王宇王魁波谢婉露张罗莎张立佳
文献传递
一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法
本发明公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置及其密封方法，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新谢婉露罗艳周翊王宇崔惠绒
文献传递
准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究被引量：4
2016年
采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验,获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌,并分析了微观作用机制。结果表明,193nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用,其中光热作用占主导;SiC表面损伤的宏观形貌与激光辐照参数相关,辐照脉冲数增加或单脉冲能量增加均会加重辐照损伤,增大激光重复频率会导致辐照损伤深度略微下降。
罗艳吴晓斌周翊王宇
关键词：激光技术辐照损伤准分子激光SIC陶瓷
一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统
本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波张罗莎罗艳周翊王宇崔惠绒
文献传递
一种材料辐射致气体渗透的测试装置
本实用新型公开了一种材料辐射致气体渗透的测试装置，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明系统，所述抽气系统包括三...
吴晓斌罗艳王魁波陈进新谢婉露张罗莎
文献传递
一种弹性金属矩形密封装置
本实用新型公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新谢婉露罗艳周翊王宇崔惠绒
文献传递
一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法
本发明公开了一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置以及气体渗透率的测试方法，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
全选 清除 导出
共10页<12345678910>
聚类工具0