- 用于检测氮化镓基异质结构中陷阱态的检测方法和结构
- 本发明公布了一种用于检测GaN基异质结构中陷阱态的检测方法和检测结构，首先制备得到用于检测氮化镓(GaN)基异质结构中陷阱态的检测结构，再对氮化镓(GaN)基异质结构中陷阱态进行检测，利用衬底和样品表面的导电特性，在样品...
- 杨学林沈波胡安琪郭磊程建朋张洁
- 文献传递
- 硅条形探测器条间距优化的模拟研究
- 2014年
- 由于硅条形粒子探测器目前广泛应用于高能物理、物品检测和核医学成像等方面,其形状参数对工作特性的影响也愈发引人关注。采用半导体器件的仿真软件Sentaurus TCAD模拟研究了给定探测条宽度的硅条形探测器相邻探测条的间距变量对探测器工作性能的影响,其模拟结果表明较小的间距可以减小体内电场强度和体内漏电流,有助于提高探测器的电学性能。
- 刘宏智杨兵于民王少南胡安琪石宝华杨昉东
- 关键词：电场强度漏电流仿真
- 一种基于基片键合的ΔE-E核辐射探测器及其制备方法
- 本发明公开了一种基于基片键合的ΔE-E核辐射探测器及其制备方法，属于半导体核辐射探测器技术领域。本发明的ΔE-E核辐射探测器包括薄型PIN探测器，厚型PIN探测器以及两者之间的金属键合层；所述薄型PIN探测器是在键合基片...
- 于民朱智源王陪权董显山刘晨晨胡安琪金玉丰
- 文献传递
- 用于检测氮化镓基异质结构中陷阱态的检测方法和结构
- 本发明公布了一种用于检测GaN基异质结构中陷阱态的检测方法和检测结构，首先制备得到用于检测氮化镓(GaN)基异质结构中陷阱态的检测结构，再对氮化镓(GaN)基异质结构中陷阱态进行检测，利用衬底和样品表面的导电特性，在样品...
- 杨学林沈波胡安琪郭磊程建朋张洁
- 文献传递
- 采用Sn中介层的覆Al薄膜硅片键合技术研究被引量：1
- 2014年
- 研究采用Sn作为中间层键合覆盖Al薄膜的硅片。相对于Al-Al直接热压键合,该系统能提供低温、低压、快速的圆片级键合方案。采用直径为100 mm硅片,溅射一层500 nm厚度的Al层后,在N2气氛下进行450°C,30分钟退火,采用Ar等离子体清洗后,溅射一层500 nm厚度的Sn层。将硅片金属面紧贴在一起放入键合机中键合,在真空中进行。键合时间为3分钟条件下,得到平均剪切强度为9.9 MPa,随着键合时间增加,剪切强度显著降低。
- 朱智源于民胡安琪王少南缪旻陈兢金玉丰
- 关键词：低压剪切强度
