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邹娟
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
大连理工大学电子科学与技术学院电子工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
石新明
大连理工大学电子科学与技术学院...
唐祯安
大连理工大学电子科学与技术学院...
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唐祯安
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石新明
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邹娟
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电子测量与仪...
年份
1篇
2009
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硅基射频螺旋电感的在片测试和剥离方法
被引量:1
2009年
使用无锡上华0.5μm(DPTM)标准CMOS工艺制备了螺旋电感芯片,利用矢量网络分析仪和探针台搭建了硅基螺旋电感测试装置,对该硅基螺旋电感进行了测试。采用两种去除电路寄生参数的剥离方法,分析了高频条件下各种测试寄生参量的影响。建立了基于0.5μm(DPTM)标准CMOS工艺在片螺旋电感的寄生参量单π等效电路模型,详细列出了在片螺旋电感测试和寄生参数的剥离步骤,测试结果在0.1~8.5 GHz范围内与三维电磁场(HFSS)仿真结果有很好的一致性,验证了此方法在片上螺旋电感测试中的有效可行性。
石新明
唐祯安
邹娟
关键词:
电路模型
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