闻心怡
- 作品数:7 被引量:1H指数:1
- 供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 铁电存储器关键工艺与器件建模研究
- 近几年来,将铁电薄膜和硅基半导体工艺相结合的新型半导体器件越来越受到世界各国研究者的广泛青睐。其中,铁电存储器由于其兼有低功耗、读写速度快、抗辐射等多方面优点,被认为最有前途的新一代非挥发存储器之一。本文围绕铁电存储器研...
- 闻心怡
- 关键词:铁电存储器磁控溅射
- 铁电存储器用铁电薄膜的紫外光辅助制备方法
- 本发明公开了一种铁电存储器用铁电薄膜的紫外光辅助制备方法,属于微电子信息功能材料与器件领域。本发明铁电存储器用PZT前驱体溶液浓度为0.1~0.3mol/l。每次旋转匀胶后,都对薄膜进行烘烤并辅以均匀紫外光辐照,光照度为...
- 于军李建军王耘波周文利高俊雄闻心怡吴云翼周光惺
- 文献传递
- 铁电存储器用铁电薄膜的紫外光辅助制备方法
- 本发明公开了一种铁电存储器用铁电薄膜的紫外光辅助制备方法,属于微电子信息功能材料与器件领域。本发明铁电存储器用PZT前驱体溶液浓度为0.1~0.3mol/l。每次旋转匀胶后,都对薄膜进行烘烤并辅以均匀紫外光辐照,光照度为...
- 于军李建军王耘波周文利高俊雄闻心怡吴云翼周光惺
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- 一种用于铁电存储器的铁电薄膜电容及其制备方法
- 本发明属于铁电存储器技术领域,公开了一种铁电存储器用铁电薄膜电容及其制备方法。铁电薄膜电容依次由硅基底、二氧化硅层、二氧化钛粘结层、金属铂导电层、铅酸钡下电极层、铁电薄膜层和铅酸钡上电极层构成;其中铅酸钡下电极层厚度为1...
- 于军闻心怡王耘波周文利高俊雄李建军赵远
- 文献传递
- 张应力对准同形相界Pb(Zr,Ti)O_3薄膜相变和铁电性能影响被引量:1
- 2011年
- 采用射频磁控溅射法在Pt/TiOx/SiO2/Si基片上制备了以BaPbO3(BPO)为缓冲层的Pb(Zr0.52,Ti0.48)Nb0.04O3(Nb掺杂PZT,PZTN)薄膜.通过调整BPO层厚度,为该PZTN薄膜引入了不同的张应力.当BPO层厚度分别为68nm和135nm时,PZTN薄膜呈现随机取向,采用2θ-sin2ψ法测得薄膜的张应力为0.786和0.92GPa.电学测试表明,张应力较大的PZTN薄膜具有更好的铁电和漏电流性能.当PZTN薄膜张应力为0.786GPa时,剩余极化Pr和矫顽场Ec分别为41.2μC/cm2和70.7kV/cm,在+5V下漏电流密度分别为6.57×10-7A/cm-2;而当张应力增为0.92GPa时,剩余极化Pr增为44.1μC/cm2,矫顽场Ec减为58.1kV/cm,+5V下漏电流密度为5.54×10-8A/cm-2.以掠射方式对两种PZTN薄膜做精细扫描,并结合结构精修进一步分析,分析表明张应力较大的PZTN薄膜中单斜相成份较多,这可能是其铁电性能更加优异的原因.
- 闻心怡王耘波周文利高俊雄于军
- 关键词:PZT结构精修
- 溶胶凝胶燃烧制备LSCO靶材的结构和电性能
- 2010年
- 采用溶胶凝胶自燃烧法,选择不同的烧结温度和镧过量系数,制备出品质各异的La0.5Sr0.5CoO3靶材.分别使用X射线衍射仪(XRD)、环境扫描电子显微镜(ESEM)及四探针测试仪对靶材的成相品质、显微结构和电阻率进行表征.通过对比和分析,确定出最佳工艺为:烧结温度1200℃,镧过量系数0.03.由此制备出物相集中、晶粒均匀且结合致密、杂相及孔洞缺陷少的优质La0.5Sr0.5CoO3靶材.
- 于军赵远闻心怡王耘波
- 关键词:靶材电阻率
- 基于极化反转函数的铁电电容器件模型
- 2012年
- 通过分析铁电薄膜微观结构及铁电畴在外电场作用下极化反转机理,将铁电畴等效为一群具有相互独立矫顽场的铁电偶极子.采用几何方法,解释了这些偶极子在不规则电压波形驱动下极化反转的规律.在此基础上,引入铁电电容的极化反转函数来表征铁电电容宏观极化强度随外电场变化的数学表达式.该函数的引入不仅简化了模型的计算量,还成功避免了同类模型中数值微分和数值积分所带来的误差,大大提高了模型精确性.
- 闻心怡周文利王耘波高俊雄于军
- 关键词:偶极子电滞回线