刘峰
- 作品数:3 被引量:5H指数:2
- 供职机构:天津师范大学物理与材料科学学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域:天文地球金属学及工艺一般工业技术更多>>
- CrN/ZrN多层梯度薄膜的合成被引量:2
- 2004年
- 利用直流磁控溅射技术,应用双靶轮流反应溅射工艺,制备了CrN/ZrN多层梯度薄膜.采用XRD,AES,XPS和纳米硬度仪等测试方法,对CrN/ZrN多层梯度薄膜的微观结构和纳米硬度进行了研究.结果表明:在N2反应气体环境下通入更具活性的NH3气体所合成的薄膜结构中ZrN和CrN结晶趋向多元化共存,其纳米硬度明显提高.在0.6mL/min(sccm)的N2流量和0.15mL/min的NH3流量条件下,薄膜纳米硬度达到35GPa.
- 刘峰刘谦祥李德军
- 关键词:磁控溅射
- Ag^+注入对TiO_2薄膜光催化、抗菌和亲水性能的影响被引量:3
- 2015年
- 为提高TiO2材料的光催化能力,采用匀胶法在载玻片上制备TiO2薄膜,通过离子注入技术在TiO2薄膜表面掺杂Ag+,离子注入时加速电压为40kV,注入剂量分别为5×1015、1×1016、3×1016、6×1016和1×1017ions/cm2.以甲基橙为降解物,研究了Ag+注入对TiO2薄膜紫外光作用下光催化效率的影响,并通过大肠杆菌在紫外光照射下的存活率考察了Ag/TiO2薄膜的抗菌效率.此外,利用接触角测量仪测量Ag/TiO2薄膜分别在避光和紫外光照射下水接触角的变化情况,研究了Ag+注入对TiO2薄膜亲水性的影响.实验结果表明:注入剂量为1×1016ions/cm2时,TiO2薄膜光催化效率最高,与未注入薄膜比较提高了约1.26倍.此外,适量的Ag+注入有利于TiO2薄膜抗菌效率的提高,并改善了薄膜的亲水性能,紫外光作用下,薄膜具有最佳抗菌性和亲水性时,Ag+的注入剂量为3×1016ions/cm2.
- 侯兴刚闫广青马慧艳刘峰艾玉凯李德军廖斌
- 关键词:二氧化钛薄膜亲水性能
- 高温稳定的超硬纳米多层膜微观结构设计与合成
- 李德军蔡强邢冬梅刘谦祥刘瑞安刘峰杨格丹王晓伟ChungYWChenY王明霞张晶晶张晶晶杨谨
- 该课题利用直流和射频磁控溅射技术,以及离子束辅助沉积技术完成了以锆、钨、钛、铬、钽、铌、钒等过渡金属氮化物、碳化物、硼化物(包括锆铝合金氮化物)等为主要单质薄膜之间合适匹配的纳米多层膜体系的设计合成工作。对于过渡金属硼化...
- 关键词:
- 关键词:纳米多层膜磁控溅射离子束辅助沉积