孙堂友
- 作品数：29 被引量：26H指数：4
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程电气工程更多>>
- 一种孔状GaN基光子晶体LED的制备方法
- 本发明提出一种GaN基孔状光子晶体LED的制备方法，包括：生长GaN基LED外延片，并在外延片上匀底胶；利用孔状硬模板进行纳米压印，脱模后在外延片底胶表面上形成一层柱状阵列图案；在柱状阵列图案上匀第二层胶，其中该第二层胶...
- 张铮徐智谋孙堂友何健张学明
- 文献传递
- 基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：5
- 2014年
- 在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数.
- 陈修国刘世元张传维吴懿平马智超孙堂友徐智谋
- 关键词：纳米压印
- 一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法
- 本发明提出一种基于纳米压印制备GaN基光子晶体LED的方法，包括（1）在蓝宝石衬底上依次外延生长N-GaN层、多量子阱有源区和P-GaN层，形成GaN基LED外延结构片；（2）对纳米压印硬模板进行防粘处理；（3）制备具有...
- 李程程徐智谋刘文孙堂友吴小锋徐晓丽
- 文献传递
- 一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法
- 本发明公开了一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法，包括首先在目标上旋涂一层紫外光刻胶，利用紫外软纳米压印将模板的二维光子晶体结构复制到光刻胶表面，刻蚀去掉残胶，在光子晶体紫外胶上蒸渡一层SiO<Sub>2</Su...
- 吴小锋徐智谋刘文孙堂友李程程赵文宁王双保
- 一种易于散热的LED路灯
- 本发明公开了一种LED路灯，包括导热管，散热肋板和灯体，散热肋板设置在灯体外，导热管一端伸入灯体，与灯体内部的LED光源相连接，另一端贯穿于散热肋板，LED光源产生的热量通过导热管传递到散热肋板；其中，灯体包括上灯罩，下...
- 肖汉唐王子昊徐智谋吴小锋李程程曹通孙堂友刘浦
- 文献传递
- 纳米压印多孔硅模板的研究被引量：4
- 2014年
- 纳米压印模板通常采用极紫外光刻、聚焦离子束光刻和电子束光刻等传统光刻技术制备,成本较高.寻找一种简单、低成本的纳米压印模板制备方法以提升纳米压印光刻技术的应用成为研究的重点与难点.本文以多孔氧化铝为母模板,采用纳米压印光刻技术对纳米多孔硅模板的制备进行了研究.在硅基表面成功制备出纳米多孔阵列结构,孔间距为350—560 nm,孔径在170—480 nm,孔深为200 nm.在激发波长为514 nm时,拉曼光谱的测试结果表明,相对于单面抛光的硅片,纳米多孔结构的硅模板拉曼光强有了约12倍左右的提升,对提升硅基光电器件的应用具有重要的意义.最后,利用多孔硅模板作为纳米压印母模板,通过热压印技术,成功制备出了聚合物纳米柱软模板.
- 张铮徐智谋孙堂友徐海峰陈存华彭静
- 关键词：纳米压印阳极氧化铝多孔硅拉曼光谱
- 一种纳米压印硬模板的制备方法
- 一种能够大面积制备价格低廉、高复用率、微纳尺寸可调的用于纳米压印的硬模板的制备方法，首先在草酸电解液中，采用电化学法制备规整的阳极氧化铝(AAO)模板；其次在AAO表面蒸镀一层全氟辛基-三氯硅烷(CF<Sub>3</Su...
- 孙堂友徐智谋刘文邱飞陈志伟
- 文献传递
- 一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法
- 本发明公开了一种二维光子晶体结构GaN基LED的制备方法，包括首先在目标上旋涂一层紫外光刻胶，利用紫外软纳米压印将模板的二维光子晶体结构复制到光刻胶表面，刻蚀去掉残胶，在光子晶体紫外胶上蒸渡一层SiO2或Cr膜，经刻蚀在...
- 吴小锋徐智谋刘文孙堂友李程程赵文宁王双保
- 文献传递
- 纳米结构光/电器件的制备机理与性能调控
- 徐智谋沈国震武兴会赵文宁孙堂友
- 通过纳米结构来设计和制备光/电器件，可大幅提高器件的性能。项目团队，自2007年以来，在五项国家自然科学基金的资助下，对纳米结构光/电器件进行了研究，形成了系统的纳米结构光/电器件制备机理和性能调控方法。 8篇代表作在A...
- 关键词：
- 一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品
- 本发明公开了一种可提高图形深宽比的纳米压印方法，包括：（a）软、硬模板的准备步骤；（b）对半导体基片清洗干燥处理后在其表面上涂覆底胶并执行固化处理，接着在该底胶层上镀上硬掩膜层且底胶层与硬掩膜层之间的刻蚀选择比为10以上...
- 王智浩刘文孙堂友左强
- 文献传递
