您的位置： 专家智库 > >

张善华

作品数：21 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇锥角
  • 7篇面形
  • 7篇干涉仪
  • 6篇透镜
  • 6篇图像
  • 6篇图像传感器
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇移相
  • 5篇条纹
  • 5篇测量方法
  • 4篇聚焦透镜
  • 4篇激光
  • 4篇光刻
  • 4篇光束
  • 3篇镜面
  • 2篇调节装置
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理

机构

  • 21篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 21篇黄惠杰
  • 21篇张善华
  • 19篇曾爱军
  • 13篇袁乔
  • 4篇黄立华
  • 2篇马兴华
  • 2篇郭凯
  • 2篇杨增辉
  • 2篇屈建峰
  • 2篇任冰强
  • 2篇朱玲琳
  • 2篇张友宝
  • 2篇凌丽青

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 5篇2015
  • 2篇2014
  • 8篇2013
  • 1篇2012
共 21 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
轴锥镜面形和锥角的检测方法
一种轴锥镜面形和锥角的检测方法，包括以下步骤：在短相干光源干涉仪输出的平行光束方向依次置入平面标准镜、待测轴锥镜和标准平面反射镜，所述的待测轴锥镜的平面朝向短相干光源干涉仪的出光方向；调整光路；调整所述的待测轴锥镜和所述...
袁乔曾爱军张善华黄惠杰
文献传递
球端面锥形透镜的面形测量方法
一种球端面锥形透镜的面形测量方法，该方法包括以下步骤：制作匹配的凹面锥形反射镜，制作匹配的补偿镜，在移相干涉仪输出的平行光束方向依次置入平面标准镜、所述的补偿镜、待测球端面锥形透镜和所述的凹面锥形反射镜，调整光路：利用所...
张善华袁乔曾爱军黄惠杰
文献传递
轴锥镜透射波面的测量方法
一种轴锥镜透射波面的测量方法，包括①制备凹面锥形反射镜、②安装测试装置、③调整光路和④测量四个步骤，该方法具有装置简单、对轴锥镜的锥角没有限制和易于测量等优点。
袁乔曾爱军张善华黄惠杰
文献传递
一种大幅面检材上汗潜指印检测的装置及方法
一种大幅面检材上汗潜指印检测的装置，包括深紫外激光光源模块、分色镜、激光扫描光学转换模块、二维电动样品台、荧光探测模块和控制系统，及检测方法。本发明能更好地激发出365nm的汗潜指印受激发本征荧光，提高汗潜指印检测的检测...
黄立华赵成屈建峰凌丽青张善华郭凯黄惠杰
文献传递
高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，包括以下步骤：制作部分透光平板；在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜，所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方...
袁乔曾爱军张善华黄惠杰
文献传递
大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法
一种大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法，检测装置包括激光器组件、探测器组件、扫描步进模块、定位模块、整机框架和整机控制系统。本发明能够对被测大尺寸钕玻璃片的四个包边界面的剩余反射率进行全覆盖扫描检测，检测...
张友宝黄惠杰曾爱军杨增辉张善华马兴华
文献传递
大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法
一种大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法，检测装置包括激光器组件、探测器组件、扫描步进模块、定位模块、整机框架和整机控制系统。本发明能够对被测大尺寸钕玻璃片的四个包边界面的剩余反射率进行全覆盖扫描检测，检测...
张友宝黄惠杰曾爱军杨增辉张善华马兴华
光束位置和角度的调节装置
一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置，其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成，所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点，所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面...
张善华曾爱军袁乔黄立华任冰强黄惠杰
文献传递
两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置
一种两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置，其特点在于该装置由半反半透镜、第一透镜组、第二透镜组、第一图像传感器、信号处理系统、第三透镜组、第四透镜组和第二图像传感器构成。本发明具有结构简单、易于维护的特点。
张善华曾爱军黄惠杰
文献传递
光刻照明模式产生装置
一种光刻照明模式产生装置，该装置包括线起偏器、衍射光学元件、变焦镜组、偏振分光器、四分之一波片、凸锥形镜和平面反射镜，本发明无需使用凹锥形镜，减小了加工的难度，并且具有结构紧凑的特点。
朱玲琳张善华曾爱军黄惠杰
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0