杨开明
- 作品数：270 被引量：450H指数：11
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种六自由度定位装置
- 一种六自由度定位装置，涉及一种超精密六自由度运动定位设备。该定位装置包括一个定位单元、两个沿X轴运动的直线电机、一个沿Y轴运动的音圈电机、三个沿Z轴运动的音圈电机、两个沿Y轴运动的直线电机、两个沿X轴微动的音圈电机和四个...
- 张鸣朱煜汪劲松李鑫宋玉晶刘羽杨开明尹文生胡金春徐登峰穆海华
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- 一种平面电机动子位移的测量方法
- 一种平面电机动子位移的测量方法，所述测量方法包括：在平面电机动子上布置四个磁感应强度传感器，由所布置的四个传感器的采样信号处理后得到信号B<Sub>sx</Sub>、B<Sub>cx</Sub>、B<Sub>sy</Su...
- 朱煜胡金春徐登峰孙玉婷尹文生张鸣杨开明穆海华
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- 一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统
- 一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电...
- 朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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- 一种真空气浮轴承及其性能检测装置
- 本实用新型涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该...
- 成荣朱煜杨开明刘相波王利臣
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- 基于PMAC的数控系统PID参数自适应调节被引量：45
- 2002年
- 研究了数控加工系统中的位置控制模型,在此基础上分析了采用PID参数自适应调节的重要性,建立了基于PMAC基础上PID参数自适应调节的高性能数控系统。
- 杨更更叶佩青杨开明游华云
- 关键词：数控系统PID参数PMAC自适应调节数控加工
- 利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法
- 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记...
- 陈恳边柯柯高雨浩周于付翱付成龙杨开明朱煜孙勇伍三忠
- 干涉条纹相位锁定系统被引量：3
- 2017年
- 干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值。针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统。利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能。实验结果表明,在400Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0~5Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求。
- 鲁森杨开明朱煜王磊杰张鸣
- 关键词：相位锁定声光调制器RTX
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
- 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
- 杨开明朱煜李鑫汪劲松尹文生胡金春张鸣徐登峰穆海华崔乐卿余东东
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- 一种平面电机运动控制方法、装置及系统
- 本发明公开一种平面电机运动控制方法、装置及系统，方法包括：发送运动指令给控制模块，控制模块控制平面电机运动；获取动子的位置的测量数据，将运动指令与测量数据比较得到位置误差e，对测量数据差分得到速度v、加速度a、jerk、...
- 杨开明朱煜鲁森雷声成荣李鑫刘涛
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- 扫描干涉光刻装置
- 本发明提供一种扫描干涉光刻装置，包括：用于发射激光的激光器；用于将激光分束为相干光的分束器；光纤，光纤的两个出射接口对称设置；用于调整两个出射接口的光束干涉角调整装置，两个出射接口均位于光束干涉角调整装置上；以及曝光基底...
- 鲁森朱煜曹耒杨开明张鸣成荣
