王莹
- 作品数：16 被引量：0H指数：0
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- 溅射参数对ZnO薄膜物性的影响
- 2007年
- 采用磁控溅射方法分别在ITO玻璃和硅片上成功制备了具有良好C轴取向的ZnO薄膜.并研究了溅射气压,基底温度,以及氧偏压对ZnO薄膜物性的影响,从而确定了制备ZnO薄膜的最佳溅射条件.
- 张丽明王莹
- 关键词：ZNO薄膜溅射气压基底温度磁控溅射
- 衬底温度对HfO_xN_y薄膜相关物性的影响
- 2009年
- 采用射频反应磁控溅射法制备了HfOxNy栅介质薄膜,并研究了HfOxNy栅介质薄膜的化学特性和界面结构随淀积温度的变化而发生的变化规律。光电子能谱测试表明,随着衬底温度的升高,薄膜中的氮含量也随之增加。傅立叶红外吸收光谱研究表明,随着淀积温度的增加,界面层SiO2的厚度也逐渐增高。
- 张丽明王莹
- 关键词：射频反应磁控溅射化学特性
- 氮偏压对α-GaAs_(1-x)N_x薄膜性能的影响
- 2012年
- 采用磁控溅射方法在硅片上制备了不同氮偏压下的非晶GaAs1-xNx薄膜,结合拉曼光谱仪和椭偏仪等手段对样品进行了表征。结果表明,掺入氮气后,α-GaAs薄膜的拉曼光谱有明显变化;随着氮偏压的升高,α-GaAs1-xNx薄膜的折射率和消光系数逐渐减小,其峰值向短波长略微移动。另外,α-GaAs1-xNx薄膜在红外和近红外波段内几乎是透明的。
- 张丽明王莹
- 关键词：磁控溅射拉曼光谱仪椭偏仪
- 高介电HfOxNy薄膜的制备及其光学性能研究
- 2009年
- 采用直流反应磁控溅射方法,在硅衬底制备了高介电HfOxNy薄膜。用椭偏仪研究了后期退火处理对薄膜光学性质的影响,结果表明,薄膜的折射率随退火温度的升高而增加,这主要是由于高温退火导致薄膜内部缺陷减少,使得薄膜松散的内部结构变得更加致密;薄膜的消光系数随退火温度的升高而降低,这是由于因为退火后薄膜内的缺陷减少。光学禁带宽度随退火温度的升高而增加,这是由于退火过程中薄膜中N含量的减少而导致。
- 王莹张丽明杨更须
- 关键词：直流反应磁控溅射椭偏仪光学特性
- 掺杂量对ZnO∶Tb复合薄膜的形貌和光学性能的影响
- 2007年
- 采用的两步法——先溅射成膜,后退火处理的工艺成功制备了ZnO:Tb复合薄膜,结合XRD、SEM、PL等手段研究了掺杂量对薄膜结构和形貌的影响.发现掺杂量为4.16%时,ZnO:Tb薄膜表面形成新奇T-A-ZnO结构以及不同直径和长度的螺纹状纳米棒;同时出现378 nm和387 nm两个较强的紫外发光峰,以及中心波长位于515 nm的强绿光峰.
- 王莹张瑞玲
- 关键词：掺杂量形貌光学性能
- 高介电HfOxNy薄膜的表面形貌及光学特性研究
- 2009年
- 采用射频反应磁控溅射氧化铪钯的方法,在硅衬底成功制备了高介电HfOxNy薄膜.利用原子力显微镜,研究氮的掺入对薄膜表面形貌的影响,结果表明,N的掺杂改善了HfO2薄膜的表面形貌,同时抑制了高温退火过程中表面粗糙度的增加;通过椭圆偏振仪对薄膜的光学特性的研究表明,随退火温度的升高,薄膜的折射率和消光系数都呈上升趋势.
- 王莹
- 关键词：射频反应磁控溅射表面形貌光学特性
- HfOxNy薄膜的制备及其性能研究
- 2008年
- 本文采用磁控溅射法制备了HfOxNy高介电薄膜,结合XRD、XPS等手段研究了退火温度对薄膜的结构和化学键态的影响,发现N的掺入使Hf4f峰位向低能方向移动.而随着退火温度的升高,Hf4f的双峰峰位向着高结合能的方向移动,这表明N的含量随着退火温度的升高而降低.XRD结果显示N的掺入能提高薄膜的晶化温度.
- 王莹张丽明
- 关键词：磁控溅射退火温度
- 羽毛球训练机器人
- 羽毛球训练机器人，它由电机、蜗牛式壳体、牛角式漏斗及支架组成，蜗牛式壳体经铆钉与电机、牛角式漏斗连接，蜗牛式壳体经转轴与支架连接，电机经铆钉与支架连接。本发明结构简单合理新颖，操作简便，既能替代羽毛球陪练员陪练，又能提高...
- 唐明何中华焦贺彬万磊张海威王莹杨爱华张瑛李辉曹桂文陈玉霞杨霞曹玉升
- 文献传递
- 中心频率可调的FIR数字带通滤波器设计
- 2006年
- 本文设计制作的中心频率可调的FIR数字带通滤波器,其中心频率为5kHz^150kHz多点可调,通带的3dB带宽为4kHz.这是一个通用的滤波器,可广泛应用与通信、实验测量和控制等诸多场合.
- 王莹
- 关键词：高性能数字信号处理快速傅里叶变换
- 基于自混合效应的激光测距仪设计
- 2014年
- 给出了一个基于自混和效应的激光测距仪设计。通过使用差频模拟锁相环（APLL）独特的优点来处理信号，明显地提高系统的测距精度和扩大测量的动态范围。同时通过选取合适的三角波电流调制频率fm=400-600Hz．来对测量系统的性能进一步的进行了优化。实验结果表明，当采样时间是0．1s时，整个系统的测量动态范围也能达到50-500mm，且精度为2mm。
- 陈元安王莹
