胡松
- 作品数：469 被引量：436H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 一种ROE性能检测方法
- 本发明提出一种ROE性能检测方法。首先建立测试光路，分别记录加与不加ROE折射镜情况下的紫外相机图像。通过图像质心算法和图像能量算法计算可得ROE折射镜各处的Y向平衡性。基于图像傅里叶算法以及相关参数拟合可得ROE折射镜...
- 李昱阳孙海峰李艳丽周吉杨瑞琳龚健文胡松
- CCD生物芯片检测仪设计被引量：2
- 2002年
- 生物芯片（基因芯片和蛋白芯片）是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段。本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并着重对系统设计、荧光图象的处理和检测结果的分析软件进行了讨论。
- 唐小萍刘业异王淑蓉胡松
- 关键词：生物芯片分子诊断系统设计
- 接近式光刻对准中的叠栅干涉测角方法被引量：2
- 2014年
- 干涉测量是众多科学与工程领域广泛采用的精密计量手段。探索了一种方便可控的基于双光栅衍射的叠栅干涉相敏测角方法,可直接用于接近式光刻过程中掩模衬底的倾斜矫正及面内角调节,便于微纳米器件及微光电子系统集成等相关应用。本方法旨在分别利用双光栅多次衍射产生的对称与相似级次,实现(m,-m)级叠栅干涉与(m,0)级叠栅干涉,产生相位与二者相对倾斜角、面内角有关的场分布。分析推导了叠栅干涉测角的基本原理,然后介绍相应的(m,-m)级与(m,0)级干涉测角方案设计。具体而言,二者均类似地根据条纹偏转及频率变化分别以离轴与同轴的方式监测倾斜及面内偏转角度。设计相应的组合光栅标记进行实验验证。实验结果及分析表明,倾斜角与面内角的调节精度分别可达10-3 rad及10-4 rad。
- 佟军民周绍林赵立新胡松
- 关键词：微细加工光刻
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
- 盛壮唐小萍胡松李兰兰谢飞李金龙徐锋
- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
- 一种新的多功能微纳加工平台及其应用
- 摩尔定律一直被认为是半导体行业发展的金科玉律,而要让摩尔定律一直有效的关键是不断提高光刻分辨力。众所周知,从投影式光刻机的分辨力公式可以看出,提高分辨力的途径是降低工艺因子、缩短曝光波长和增大数值孔径,而缩短光源波长和增...
- 杨勇Bo Pi赵立新胡松
- 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法
- 本发明公开了一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法，标定装置包括双通道干涉仪、球透镜、球面反射镜，沿所述的双通道干涉仪输出空间非相干光方向依次是球透镜、球面反射镜，所述的双通道干涉仪和球透镜不处于共焦的位置，...
- 王青蓝全海洋胡常安刘俊伯胡松李建科朱咸昌王建
- 工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3
- 2007年
- 针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。
- 佟军民胡松董小春严伟余国彬
- 关键词：面形精度
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
- 文献传递
- 一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头
- 本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝-1×，即按原比例成倒像于像面且质量较...
- 周毅邓钦元司新春刘俊伯胡松杨勇程依光
- 一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法
- 本发明涉及一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法，其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置，完成硅片的高精度调平和调焦。检测系统通过二维光栅在子午面和弧矢面由两类不同频率的光栅剪切干涉，根据测量子午和弧矢面内4个区域的...
- 朱咸昌胡松赵立新
- 文献传递
