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贺小明

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇梯度薄膜
  • 1篇钛合金
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束辅助
  • 1篇离子束辅助沉...
  • 1篇合金
  • 1篇(TI,AL...

机构

  • 1篇钢铁研究总院
  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇郭薇
  • 1篇郭薇
  • 1篇谢中维
  • 1篇贺小明

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束辅助沉积(Ti,Al)N 梯度薄膜的结合强度被引量：10
1998年
本文采用离子束辅助沉积技术，制备了不同成分梯度的一系列（Ｔｉ１－ｘＡｌｘ）Ｎ膜（其中ｘ＝０．１６～０．４４），并利用刮剥式结合强度测量方法，对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度等的影响进行了研究。研究工作发现，刮剥法测得的结合强度，在ｘ＝～０．３１处取得最大结合强度值后，随薄膜成分梯度的增大而下降，但在重要的４０％～５０％Ａｌ区域内，梯度（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜的结合强度、硬度以及内应力却都维持在一个较为稳定的水平，较少受薄膜成分等的影响。梯度（（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜的结合强度主要受膜中残余应力的影响。
谢中维郭薇郭薇
关键词：离子束辅助钛合金
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共1页<1>
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