郭福东
- 作品数：43 被引量：31H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 采用多探测器的光场光强分布测量方法
- 一种采用多探测器的光场光强分布测量方法，该方法利用的系统包括光电传感单元、精密扫描台、信号处理与控制单元；采用的光电传感单元1包含2个以上的点探测器；精密扫描台带动光电传感单元扫描实现待测光场时，至少有一个参考探测器位于...
- 唐锋王向朝郭福东
- 文献传递
- 一种光功率可调衰减装置
- 一种光功率可调衰减装置，其特征在于构成包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、电机卡座、挡光片、限位开关挡块、限位开关、限位开关固定座、入射光纤、光纤准直接头、光纤准直/耦合固定基座、光纤耦合接头、输出光纤。本发明优点...
- 郭福东唐锋王向朝
- 文献传递
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
- 文献传递
- 大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法
- 一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围...
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- 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密...
- 唐锋王向朝冯鹏郭福东卢云君
- 文献传递
- 透射波前检测干涉仪
- 一种透射波前检测干涉仪，包括：光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元和控制单元；该干涉仪采用光纤进行光路布局，具有结构简单，易于装调、抗干扰性强、信号强度可调等优点，并且，系...
- 唐锋王向朝徐静浩卢云君郭福东
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- 环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究
- 2019年
- 提出一种新的基于环形子孔径扫描的锥形镜面形测量方法,该方法可实现大口径、不同锥角的锥形镜面形的通用化测量。使用微动扫描台移动锥形镜,同时测量待测锥面法线方向若干环带的相位,提取有效像素并通过插值拼接得到被测锥形镜的面形。该方法可实现锥角大于96.4°的锥形镜面形的测量,测量口径可达100 mm以上,理论测量精度达到λ/4 PV(λ为波长;PV为峰谷值)。使用ZYGO公司4英寸(1 inch=2.54 cm)的DynaFiz干涉仪对一个标称角度为140°的凸面锥形镜顶部的面形进行检测,被测样品旋转90°前后的面形检测结果与使用Taylor-Hobson公司LuphoScan轮廓仪检测结果一致,PV值相差0.54μm,验证了该方法的可行性。
- 严焱唐锋王向朝卢云君郭福东
- 关键词：面形检测
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
- 文献传递
- 高精度平面子孔径拼接算法研究被引量：7
- 2016年
- 对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接测量累积误差的方法,该方法采用第4项和第6项泽尼克像差拟合一个假设的准参考镜面形,再从每个子孔径测量结果中减去,最后拼接合成全口径面形。对450mm×60mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,去除准参考镜面形前后,拼接测量结果与Zygo公司24英寸(600mm)口径干涉仪检测结果的偏差峰谷(PV)值从λ/7减小至λ/100。所拟合的准参考镜面形误差为0.02λ(PV值),与标准镜的面形误差为同一量级,其对每个子孔径测量结果的影响可以忽略。实验结果表明,本文方法能够有效控制拼接累积误差,提高拼接检测精度。
- 朱鹏辉唐锋卢云君王向朝郭福东李永
- 关键词：子孔径拼接
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
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