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钟健

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇氧化物薄膜
  • 2篇微米
  • 2篇微米管
  • 2篇牺牲层
  • 2篇谐振波长
  • 2篇卷曲
  • 2篇波长
  • 1篇图形化
  • 1篇内应力

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇黄高山
  • 2篇梅永丰
  • 2篇崔旭高
  • 2篇张静
  • 2篇王娇
  • 2篇钟健

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种三明治结构微米管及其制备方法和应用
本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以...
张静钟健王娇黄高山崔旭高梅永丰
一种三明治结构微米管及其制备方法和应用
本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以...
张静钟健王娇黄高山崔旭高梅永丰
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