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许磊
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8
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中国电子科技集团公司第三十八研究所
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合作作者
王光池
中国电子科技集团公司第三十八研...
刘建勇
中国电子科技集团公司第三十八研...
郑林华
中国电子科技集团公司第三十八研...
齐步坤
中国电子科技集团公司第三十八研...
王晓东
中国电子科技集团公司第三十八研...
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作者
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郑林华
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刘建勇
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王光池
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许磊
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齐步坤
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胡骏
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年份
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2015
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基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形,由(100)型的单晶硅片通过硅各...
许磊
刘建勇
王光池
郑林华
齐步坤
王晓东
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一种四面扁平无引线封装式雷达收发组件的装置
一种四面扁平无引线封装式雷达收发组件的装置,包括盖板及由环框和基板组成的一体化盒体,盖板与环框顶部焊接,环框底部焊接在基板正面四周,基板底面四周靠近基板侧边处布置有若干第一焊盘,第一焊盘弯曲延伸至基板侧边,第一焊盘在基板...
刘建勇
陈兴国
郑林华
胡骏
马强
王健
许磊
王光池
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行双面...
许磊
郑林华
刘建勇
王光池
王晓东
齐步坤
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基于MEMS技术的原子气体腔器件
本实用新型涉及一种基于MEMS技术的原子气体腔器件及其制造方法。所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔的横截面为平行四边形,由(100)型的单晶硅片通过...
许磊
刘建勇
王光池
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一种有引线表面贴装式雷达收发组件的装置
一种有引线表面贴装式雷达收发组件的装置,该装置包括一体化盒体和盖板,一体化盒体包括环框、基板以及若干用来作为电源、控制信号、射频输入、射频输出的接口的引线,盖板与环框顶部焊接,环框底部焊接在基板正面四周,基板背面开有矩形...
刘建勇
郑林华
陈兴国
胡骏
马强
王健
王光池
许磊
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具有双反射镜的微型原子气体腔器件
本实用新型涉及一种具有双反射镜的微型原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔具有典型的三明治结构,由一层具有通孔的硅片和两层内部分别带有反射镜的玻璃片键合围成的腔体结构构成。所述的通孔由硅的干法刻蚀或湿法腐蚀工艺进行...
许磊
郑林华
刘建勇
王光池
王晓东
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具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法
本发明涉及具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔器件由一层底部设有反射镜的具有凹槽的硅片和一层内部设有反射镜的玻璃片通过键合围成的腔体结构构成。所述的凹槽的横截面为倒梯形结构,由(100)...
许磊
王光池
郑林华
刘建勇
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具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件
本实用新型涉及具有双反射镜和凹槽形结构的原子气体腔器件及其制造方法。所述的原子气体腔器件由一层底部设有反射镜的具有凹槽的硅片和一层内部设有反射镜的玻璃片通过键合围成的腔体结构构成。所述的凹槽的横截面为倒梯形结构,由(10...
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