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张胜兵

作品数：4 被引量：5H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省科技攻关计划更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇多孔硅
  • 2篇单片
  • 2篇单片集成
  • 2篇电极
  • 2篇钝化层
  • 2篇湿度传感器
  • 2篇划片
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇氧化层
  • 1篇氧化多孔硅
  • 1篇自解
  • 1篇铝电极
  • 1篇仿真
  • 1篇MEMS

机构

  • 4篇合肥工业大学

作者

  • 4篇张胜兵
  • 3篇许高斌
  • 3篇马渊明
  • 3篇陈兴

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种单片集成多孔硅的相对湿度传感器及其制备方法
针对现有的湿度传感器结构方面的不足，本发明提供一种单片集成多孔硅相对湿度传感器及其制备方法。所述的湿度传感器包括基体，在基体上设有一对呈梳齿状且相互交错的铝电极，在铝电极的底面与侧壁上均覆盖有氧化隔离层，在铝电极的顶部覆...
许高斌张胜兵陈兴马渊明
文献传递
多孔硅相对湿度传感器的研究
湿度传感器作为一种重要的传感器，在人类生产生活中也发挥着举足轻重的作用。湿度传感器自问世以来，已经有约两百年的历史，在这两百年中湿度传感器的发展速度惊人，现在已经朝着微型化、智能化、集成化等方向发展。　　本文从湿度传感器...
张胜兵
关键词：湿度传感器氧化多孔硅
文献传递
多孔硅相对湿度传感器的设计被引量：5
2015年
基于对三明治型与平铺型两种多孔硅湿度传感器结构的灵敏度分析与比较,结合两种结构的优点,设计出新的传感器的结构。通过对该结构湿度传感器的性能测试,得出该传感器的灵敏度为1.1 p F/RH%,响应时间为73 s,温度湿度系数为0.5%RH/℃,该湿度传感器适用于在中低湿环境中测量,在每隔20 d的时间对传感器跟踪测试,证明该传感具有较好的稳定性。此外为了传感器可以自解吸附,该传感器采用多晶硅为传感器加热除湿,在金属电极上溅射一层钝化层以防止电极被水汽腐蚀。
张胜兵许高斌陈兴马渊明
关键词：MEMS湿度传感器仿真多孔硅
一种单片集成多孔硅的相对湿度传感器及其制备方法
针对现有的湿度传感器结构方面的不足，本发明提供一种单片集成多孔硅相对湿度传感器及其制备方法。所述的湿度传感器包括基体，在基体上设有一对呈梳齿状且相互交错的铝电极，在铝电极的底面与侧壁上均覆盖有氧化隔离层，在铝电极的顶部覆...
许高斌张胜兵陈兴马渊明
文献传递
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