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肖春雷

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：山东理工大学更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 13篇键合
  • 8篇阳极键合
  • 8篇超声
  • 7篇硅片
  • 5篇片夹
  • 4篇压电
  • 4篇压电陶瓷
  • 4篇拾取
  • 4篇芯片
  • 4篇键合强度
  • 3篇夹持器
  • 3篇变幅杆
  • 2篇预紧
  • 2篇升降台
  • 2篇组件
  • 2篇晶圆
  • 2篇机械臂
  • 2篇感知
  • 2篇玻璃片
  • 2篇超声变幅杆

机构

  • 13篇山东理工大学

作者

  • 13篇肖春雷
  • 12篇魏修亭
  • 12篇刘曰涛
  • 8篇杨明坤
  • 8篇王伟
  • 4篇陈立国
  • 4篇孙立宁

年份

  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 2篇2012
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合装置
一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合装置，该装置包括底板，手动升降台，温控键合炉，玻璃片夹持器，硅片夹持器，超声变幅杆，Z轴自动升降台，显微镜，X轴平台，Z轴支架，Y轴平台，超声波发生器，直流电源，电器支架，控制系统。相对...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合方法
一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合方法，该方法包括以下具体步骤：将玻璃片夹持在一固定工作台上，将硅片夹持在超声换能器上，超声换能器固定在一可动工作台上，设定工作台的加热温度，设置超声参数，设置阳极键合参数，可动工作台带动...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合装置
一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合装置，该装置包括底板，手动升降台，温控键合炉，玻璃片夹持器，硅片夹持器，超声变幅杆，Z轴自动升降台，显微镜，X轴平台，Z轴支架，Y轴平台，超声波发生器，直流电源，电器支架，控制系统。相对...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合方法
一种硅片与玻璃片的低温超声阳极键合方法，该方法包括以下具体步骤：将玻璃片夹持在一固定工作台上，将硅片夹持在超声换能器上，超声换能器固定在一可动工作台上，设定工作台的加热温度，设置超声参数，设置阳极键合参数，可动工作台带动...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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全自动引线键合机数字化超声波发生器研究与设计
随着半导体产业的迅速发展，MEMS器件不断向着高集成度、高精度化方向发展，因此对封装技术提出了更高的要求。在MEMS封装工艺过程中引线键合技术是最为关键的技术，超声波发生器是热压超声引线键合设备中的核心部件，其主要作用是...
肖春雷
关键词：引线键合机超声波发生器锁相环频率跟踪串联谐振
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一种芯片传输机械臂
一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
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一种芯片和晶圆的键合设备
一种芯片和晶圆的键合设备，该键合设备包括晶圆台、存储组件、操作手、显微系统以及控制系统，采用多个自由度的电机模块实现精确定位，通过显微系统对芯片位姿进行识别检测，真空吸附操作手对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在操作手后...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
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一种用于低温超声阳极键合装置中的玻璃片夹持器
一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的玻璃片夹持器，该玻璃片夹持器由高压气体接头，第一夹持片，第一预紧弹簧，第一预紧片，第一预紧螺钉，第二夹持片，第二预紧弹簧，第二预紧片，第二预紧螺钉组成，本发明的玻璃片夹持器结构简单...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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一种用于低温超声阳极键合装置中的硅片夹持器
一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的硅片夹持器，所述硅片夹持器由变幅杆连接块，绝缘垫片，高压气体接头，真空吸附接头，高压电接片，硅片夹持腔体，第三预紧螺钉，第三预紧片，第三预紧弹簧，第三夹持片，真空吸附口，第四预紧螺...
刘曰涛肖春雷王伟杨明坤魏修亭
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一种芯片传输机械臂
一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
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