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田野
田野
作品数:
1
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H指数:1
供职机构:
吉林省科学技术厅
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发文基金:
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相关领域:
理学
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合作作者
陶艳春
吉林大学化学学院超分子结构与材...
何志
吉林大学材料科学与工程学院超硬...
李英爱
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刘艳梅
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作者
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赵永年
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田野
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吉林大学学报...
年份
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2003
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氮化硼薄膜的厚度对场发射特性的影响
被引量:2
2003年
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了不同厚度(54~124nm)的纳米氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm-1和780cm-1)结构.在超高真空系统中测量了不同膜厚的场发射特性,发现阈值电压随着厚度的增加而增大.厚度为54nm的BN薄膜样品阈值电场为10V/μm,当外加电场为23V/μm时,最高发射电流为240μA/cm2.BN薄膜场发射F-N曲线表明,在外加电场作用下,电子隧穿了BN薄膜表面势垒发射到真空.
顾广瑞
李英爱
刘艳梅
陶艳春
何志
殷红
李卫青
冯伟
白玉白
田野
赵永年
关键词:
氮化硼薄膜
薄膜厚度
场发射特性
阈值电压
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