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张洋
作品数:
2
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供职机构:
北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
金属学及工艺
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合作作者
朱新利
北京大学物理学院人工微结构与介...
俞大鹏
北京大学物理学院人工微结构与介...
廖志敏
北京大学物理学院人工微结构与介...
张家森
北京大学物理学院人工微结构与介...
徐军
北京大学物理学院人工微结构与介...
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金属表面微纳米光滑构造的新方法
2009年
传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构。通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度。本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造。这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点。
张洋
朱新利
廖志敏
俞大鹏
关键词:
金属
电子束曝光
超平滑金属纳米结构的制备及其在表面等离激元研究中的应用
表面等离激元是光与自由电子集体振荡的耦合并束缚于金属与介质界面处的一种电磁模式。它可以超越光的衍射极限因而在纳米光学领域有着迷人的应用前景。金属的表面粗糙度对表面等离激元的损耗有着极大的影响进而决定了表面等离激元的传播距...
朱新利
张家森
张洋
徐军
俞大鹏
关键词:
表面等离激元
金属纳米结构
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