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沈宏伟

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：经济管理电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇动态随机存储...
  • 3篇随机存储器
  • 3篇光学
  • 3篇存储器
  • 2篇光谱
  • 2篇光学模型
  • 2篇反射光
  • 2篇反射光谱
  • 2篇分界面
  • 2篇高深宽比
  • 2篇测量方法
  • 1篇地产
  • 1篇新型装置
  • 1篇人力资源
  • 1篇人力资源管理
  • 1篇资源管理
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机连接

机构

  • 5篇华中科技大学

作者

  • 5篇沈宏伟
  • 3篇史铁林
  • 3篇刘世元
  • 3篇顾华勇
  • 3篇张传维

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2010
  • 3篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种微纳深沟槽结构测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构测量方法及装置，能够同时测量微纳深沟槽结构沟槽深度、宽度和薄膜厚度。其方法是将红外光束投射到含有深沟槽结构的硅片表面，分析从深沟槽结构各分界面反射形成的干涉光得到测量反射光谱；采用等效介质理...
刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
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微纳深沟槽结构测量系统研究
在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中，目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量，因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸进行精确检测。本学位论文在国家高技术研究...
沈宏伟
关键词：测量系统微机电系统光学设计傅立叶变换
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ZSJ公司转型房地产业务的人力资源管理优化策略研究
房地产开发因其与建筑施工的强相关性,成为建筑公司转型的选项之一。ZSJ公司是一家大型国有建筑企业,近几年提出由单纯的建造商向投资建造集团转型的发展战略。建筑企业向房地产开发业务转型,企业的核心管理——人力资源管理需要作出...
沈宏伟
关键词：人力资源管理
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一种微纳深沟槽结构测量装置
本实用新型公开了一种微纳深沟槽结构测量装置，包括红外光源、干涉仪、探测光路、样品台、接收光路、探测器、放大器、滤波器、模数转换器和计算机；红外光源、干涉仪和探测光路依次位于同一光路上，探测光路的出射光与样品台的上表面法线...
刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
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一种微纳深沟槽结构测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构测量方法及装置，能够同时测量微纳深沟槽结构沟槽深度、宽度和薄膜厚度。其方法是将红外光束投射到含有深沟槽结构的硅片表面，分析从深沟槽结构各分界面反射形成的干涉光得到测量反射光谱；采用等效介质理...
刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
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