周剑平 作品数:11 被引量:19 H指数:3 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 一般工业技术 化学工程 自动化与计算机技术 更多>>
Fe-N软磁薄膜的性能及其磁场热处理后的各向异性模型 被引量:6 2002年 本文报道了采用RF磁控溅射制备出了高性能的Fe-N薄膜 ,膜厚约 2 0 0nm ,磁场热处理后薄膜中含有α′和少量γ′ ,具有优质的软磁性能 ,饱和磁化强度 2 4T ,高于纯铁的 ,矫顽力小于 80A/m ,2~ 10MHz下的磁导率为15 0 0。然后提出一个模型 ,合理的解释了磁场热处理后薄膜表面的各向异性现象 ,包括不同方向的磁滞回线 ,剩磁比 。 李洪明 周剑平 顾有松 常香荣 赵春生 徐秀英 田中卓关键词:FE-N薄膜 磁学性能 各向异性模型 软磁材料 磁控溅射Fe-N薄膜的结构和性能 被引量:3 2000年 研究了氮流量对磁控溅射Fe-N薄膜的磁性和结构的影响.加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的.当氮的流量为1.0mL·min^(-1)时,矫顽力 H_c达到最小值205A/m.当氮流量为0.8mL·min_(-1)时,饱和磁化强度达到M_s=2.36T.在 Fe-N薄膜中未发现γ’-Fe4N和 α”-Fe16N2. 周剑平 李华飚 乔祎 顾有松 李丹 常香荣 赵春生 田中卓关键词:磁控溅射 饱和磁化强度 FE-N薄膜 Fe-N软磁薄膜的结构和性能 被引量:1 2002年 用RF溅射制备厚度为200nm的Fe-N薄膜在250℃,12000A/m磁场下真空热处理后,当N含量在5%~7%(原子百分数)范围内形成a′+a″相时,4πMs可达2.4T,Hc<80A/m,2~10MHz下高频相对导磁率μr=1500,可满足针对10Gb/in2存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要.Fe-N系薄膜中a′相的形成机理和点阵常数与块状试样按Bain机理形成的a′相有明显的差别,得到了薄膜中a′相的a,c与C_N^a′之间的线性关系式. 周剑平 李丹 顾有松 赵春生 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山关键词:磁性薄膜 软磁薄膜 硬盘 磁头材料 磁控溅射Fe-N单层膜的研究 被引量:2 2000年 本文研究了在不同温度的基片上进行磁控溅射 ,氮流量对Fe N薄膜的磁性和结构的影响。实验表明 ,基片温度为 2 0 0℃有助于提高Fe N薄膜的软磁性能。基片为室温和 10 0℃ ,氮流量在 0~ 2sccm范围内变化时 ,未发现γ' Fe4 N和α″ Fe16N2 ,薄膜中只有N在α Fe中的固溶体。基片温度 2 0 0℃ ,氮流量大于 1.0sccm时 ,薄膜中出现γ′ Fe4 N ,但仍未发现α″ Fe16N2 ,加氮后薄膜的软磁性能明显小于纯铁。当氮流量是 1.0sccm ,温度 2 0 0℃时 ,矫顽力达到最小值 ,Hc =30 6.6A/m。当氮流量是 0 .5sccm ,温度是 2 0 0℃时 ,饱和磁化强度达到 4πMs =2 .3T。 周剑平 李华飚 乔袆 张永平 顾有松 常香荣 赵春生 田中卓关键词:饱和磁化强度 矫顽力 磁控溅射 高密度记录磁头系统的结构和工作原理 被引量:3 2000年 现代计算机技术的迅速发展 ,对硬盘的驱动器读写磁头提出了更高的要求 ,要求能满足高密度、一体化、小型化、集成化、高可靠、低能耗的需要 ,硬盘双元件薄膜读写磁头恰好能满足这些要求。简单介绍了双元件薄膜读写磁头的结构和工作原理。 周剑平 李华飚 顾有松 常香荣 赵春生 田中卓关键词:磁头 自旋阀 RF溅射的Fe-N薄膜的磁导率研究 被引量:4 2001年 研究了用RF溅射法制备的Fe N薄膜经过 2 50℃磁场热处理后高频磁导率的变化情况。实验结果发现 ,在优化生长条件下生长的Fe N薄膜样品 ,在 1~ 1 0MHz的频率范围内 ,易磁化方向的高频磁导率较小 ,但其难磁化方向的相对磁导率可以高达 1 50 0 ,并且基本恒定 ,说明这种Fe 顾有松 周剑平 李丹 常香荣 田中卓 方光旦 宋庆山关键词:磁导率 FE-N薄膜 磁场热处理 磁记录介质 磁场 降低Fe-N软磁薄膜矫顽力的途径 2002年 用RF磁控溅射沉积的Fe-N磁性薄膜,饱和磁化强度比较高,但矫顽力太高,因而降低H_c成为Fe-N是否可以用于高密度磁记录的关键,在低功率200W下溅射沉积200um的薄膜,在250℃,12000 A/m磁场下真空热处理后,当N含量在f_A为5%~7%范围内,形成a′+a″时,μ_oMs可达2.4T,H_c<80A/m,但Fe-N磁性薄膜厚度需要达到2μm,而H_c往往因厚度增加而增加,提高溅射功率到1000W,使晶粒进一步细化,2μm厚的Fe-N磁性薄膜经250℃,12000A/m磁场下真空热处理后,当N含量在f_A为5.9%~8.5%范围内,形成a′+a″时,μ_oMs=2.2T,H_c仍可低于80A/m,可以满足针对高存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要。 李丹 周剑平 顾有松 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山关键词:矫顽力 饱和磁化强度 磁记录材料 磁头材料 Fe - N 膜的结构和磁性研究 周剑平关键词:FE-N薄膜 磁学性能 Excel2000图表修饰和链接技术 2000年 引言 Microsoft Excel是一个拥有大量用户的电子表格应用软件,在企业办公、数据处理等方面都有非常强大的功能,特别是在最新的Excel 2000中,又增加了新的实用功能。但是,对于如何把图表装饰成美观的图片以及与工作表生成链接,许多人可能知之甚少。本文介绍了这方面的内容,相信会有很多读者对此感兴趣。 周剑平关键词:EXCEL2000 鼠标 磁控溅射Fe-N薄膜及Fe-N/TiN多层膜的结构和磁性 被引量:5 2000年 用磁控溅射法制备了Fe N薄膜和Fe N/TiN多层膜。结果表明 ,在常温下 ,使用较小的氮、氩比溅射 ,生成的Fe N薄膜主要是含氮α Fe固溶体 ,并且N原子进入α Fe晶格是饱和磁化强度提高的一个原因。Fe N/TiN多层膜的层间耦合作用以及减小每一Fe N层厚度而引起的晶粒尺寸的减小可以有效地降低薄膜的矫顽力 。 李华飚 乔祎 周剑平 赵春生 张永平 常香荣 田中卓关键词:磁性 溅射沉积 FE-N薄膜