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雷辉
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杭州士兰集成电路有限公司
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杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
刘慧勇
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江宇雷
杭州士兰集成电路有限公司
陈文伟
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韩健
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一种修调电阻及其制造方法
本发明提供一种修调电阻,包括半导体衬底;介质层,形成于半导体衬底上;熔丝修调形状,由熔丝淀积形成于介质层上,熔丝修调形状有熔断区域和两端,熔断区域中有改变电流密度大小的修调结构和在熔丝修调形状的两端分别有连接垫;钝化层,...
杨彦涛
陈文伟
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一种修调电阻及其制造方法
本发明提供一种修调电阻,包括半导体衬底;介质层,形成于半导体衬底上;熔丝修调形状,由熔丝淀积形成于介质层上,熔丝修调形状有熔断区域和两端,熔断区域中有改变电流密度大小的修调结构和在熔丝修调形状的两端分别有连接垫;钝化层,...
杨彦涛
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一种Bipolar电路中的二价硼离子注入工艺
本发明提供一种Bipolar电路中的二价硼离子注入工艺,包括确定二价硼离子的电荷数和荷质比;由吸出组件对在离子源形成的混合等离子体加速,磁分析器根据固有曲率半径和二价硼离子的荷质比调节磁场强度,筛选出二价硼离子;剂量控制...
张伟东
雷辉
王旭
李其鲁
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一种修调电阻
本实用新型提供一种修调电阻,包括半导体衬底;介质层,形成于半导体衬底上;修调熔丝,由熔丝淀积形成于介质层上,修调熔丝有熔断区域和两端,熔断区域中有改变电流密度大小的修调结构和在修调熔丝的两端分别有连接垫;钝化层,形成在修...
杨彦涛
陈文伟
刘慧勇
韩健
江宇雷
雷辉
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