于伟华
- 作品数：13 被引量：9H指数：2
- 供职机构：江苏中能硅业科技发展有限公司更多>>
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- 相关领域：化学工程环境科学与工程更多>>
- 磁控溅射镀膜装置及镀膜方法
- 本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置及镀膜方法，包括镀膜设备主体、机架平台、挡板、冷却设施及泵组，所述镀膜设备主体包含套筒，至少一个离子源和至少一个阴极被固定在套筒上，所述镀膜设备主体的套筒与位于其外部的待镀机构之间形成密闭...
- 钟真武于伟华郄丽曼
- 利用反应精馏制备和纯化甲硅烷的方法
- 本发明涉及一种利用反应精馏制备和纯化甲硅烷的方法，包括在第一反应精馏塔塔釜原料三氯氢硅发生歧化反应，并在第一精馏塔精馏，制备的二氯二氢硅经塔顶采出并送入第二反应精馏塔，在第二精馏塔塔釜经再次歧化生成甲硅烷产品并在第二精馏...
- 陈其国陈文龙于伟华
- 以二氯二氢硅为原料歧化制备硅烷的方法
- 一种以二氯二氢硅为原料歧化制备硅烷的方法，包括在反应精馏塔塔釜原料二氯二氢硅发生歧化反应并精馏分离，制备的硅烷产品不凝气体经塔顶采出的步骤，其特征在于，将反应和分离耦合，催化歧化得到硅烷产品，催化剂为离子液体催化剂。通过...
- 陈其国于伟华陈文龙
- 文献传递
- 用于制备硅烷的二氯二氢硅的生产方法
- 本发明涉及一种用于制备硅烷的二氯二氢硅的生产方法，包括在反应精馏塔塔釜原料三氯氢硅发生歧化反应并精馏分离，制备的二氯二氢硅经塔顶采出的步骤，其特征在于，将反应和分离耦合，催化歧化得到含量在90%以上的二氯二氢硅产品，催化...
- 陈其国于伟华陈文龙
- 多晶硅还原炉倒棒原因分析被引量：2
- 2016年
- 分析了多晶硅还原炉倒棒的危害,并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究,最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施,为预防多晶硅还原炉倒棒提供了一些参考。
- 于伟华王彬田新张春伟
- 关键词：多晶硅还原炉
- 西门子还原炉倒棒原因与预防
- 2015年
- 改良西门子法是多晶硅的主流生产工艺,其核心反应器还原炉的大型化发展趋势明显,导致生产中倒棒的发生概率进一步加大,给提高生产效率和保障安全生产带来不利影响。通过对大量生产现象的观察结合理论分析,深入剖析了诱发倒棒的各项因素,并给出了针对性的预防措施。
- 吴锋陈文龙于伟华钟真武朱顺泉
- 关键词：多晶硅还原炉
- 多晶硅制备中节能降耗技术的研究被引量：7
- 2012年
- 探讨改良西门子法多晶硅工艺中副产物的综合利用、优化沉积工艺、优化与开发新型高效节能大型还原炉和新型高反射涂层等技术对多晶硅生产中节能降耗的影响,指出将目前已普遍使用和发展成熟的过程强化技术应用于多晶硅制备,可进一步降低多晶硅的制备成本。
- 陈其国钟真武高建于伟华陈文龙江宏富
- 关键词：多晶硅节能降耗
- 磁控溅射镀膜装置及镀膜方法
- 本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置及镀膜方法，包括镀膜设备主体、机架平台、挡板、冷却设施及泵组，所述镀膜设备主体包含套筒，至少一个离子源和至少一个阴极被固定在套筒上，所述镀膜设备主体的套筒与位于其外部的待镀机构之间形成密闭...
- 钟真武于伟华郄丽曼
- 文献传递
- 利用反应精馏制备和纯化甲硅烷的方法
- 本发明涉及一种利用反应精馏制备和纯化甲硅烷的方法，包括在第一反应精馏塔塔釜原料三氯氢硅发生歧化反应，并在第一精馏塔精馏，制备的二氯二氢硅经塔顶采出并送入第二反应精馏塔，在第二精馏塔塔釜经再次歧化生成甲硅烷产品并在第二精馏...
- 陈其国陈文龙于伟华
- 文献传递
- 一种高纯粒状硅的生产方法
- 本发明公开了一种高纯粒状硅的生产方法，通过调节流化床反应沉积温度和含硅气体浓度，实现形成在流化床内壁形成温度圈层和浓度圈层的目的，在石墨内件内壁沉积硅达到一定厚度，导致温度差时，应力被温度圈层和浓度圈层降低或削弱，避免应...
- 兰天石陈辉陈其国于伟华赵彦清张森
