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谭锐

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:北京清华阳光能源开发有限责任公司更多>>
相关领域:自动化与计算机技术化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇选择性吸收涂...
  • 1篇生产自动化
  • 1篇太阳选择性吸...
  • 1篇自动化
  • 1篇总线
  • 1篇现场总线
  • 1篇溅射

机构

  • 1篇北京清华阳光...

作者

  • 1篇郑世民
  • 1篇谭锐
  • 1篇唐轩

年份

  • 1篇2003
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
溅射太阳选择性吸收涂层的生产自动化
本文对单圆柱靶磁控溅射系统的控制进行了研究,并在选择性吸收涂层大规模的生产中,采用现场总线技术,实现太阳选择性吸收涂层的生产自动化,保证质量,降低成本,提高大规模生产的效率。
唐轩郑世民谭锐
关键词:太阳选择性吸收涂层现场总线
文献传递
共1页<1>
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