2024年12月27日
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陈生辉
作品数:
20
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院西安光学精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
理学
一般工业技术
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合作作者
付西红
中国科学院西安光学精密机械研究...
马娜娜
中国科学院西安光学精密机械研究...
李华
中国科学院西安光学精密机械研究...
刘杰
中国科学院西安光学精密机械研究...
王鹏
中国科学院西安光学精密机械研究...
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马娜娜
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付西红
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李华
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刘杰
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2017
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2016
9篇
2015
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大尺寸基板平面度误差检测及数据快速处理方法
首先针对神光-Ⅲ主机装置激光参数测量装置中批量加工及使用大尺寸基板的工程实际情况提出了大尺寸基板工作面的平面度误差测量方法,而后在对角线法计算平面度误差原理的基础上,运用Excel软件中的数学函数公式和图表处理模块编译平...
付西红
陈生辉
马娜娜
李硕
刘杰
关键词:
平面度
数据处理
一种快速对准装置
本发明涉及一种快速对准装置。包括镜面定位仪准直物镜管;镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置;光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置;分光装置反射面一...
付西红
刘杰
王鹏
李华
马娜娜
陈生辉
文献传递
一种可变光阑的孔径及拨杆转角的测量机构及方法
本发明公开了一种可变光阑的孔径及拨杆转角的测量机构及方法,包括可变光阑转动装置,可变光阑转动装置(1)为管状,包括电机定子(1‑2)、电机转子(1‑3)、左固定环(1‑8)、右固定环(1‑4)、过渡环(1‑5)和卡位环(...
付西红
李华
马娜娜
蒋鑫
刘杰
陈生辉
文献传递
一种快速对准装置
本发明涉及一种快速对准装置。包括镜面定位仪准直物镜管;镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置;光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置;分光装置反射面一...
付西红
刘杰
王鹏
李华
马娜娜
陈生辉
一种柱形角锥棱镜镀膜保护固定装置
本实用新型公开了一种柱形角锥棱镜镀膜保护固定装置,包括底座,所述底座上设置有通孔,所述通孔用于对待镀膜的柱形角锥棱镜的柱形段进行固定。本实用新型结构简单,安装操作方便,可拆卸,避免了在镀膜过程中发生角锥棱镜底面镀膜缺陷(...
付西红
马娜娜
陈生辉
文献传递
一种组合定位装置及定位方法
本发明提供了一种组合定位装置及定位方法,组合定位装置包括底板和支撑部;底板上设置有第一导轨,第一导轨与底板平行,第一导轨上设置有第一滑块和第二滑块,第一滑块和第二滑块上分别设置有第一指针式千分表和第二指针式千分表;支撑部...
付西红
李华
马娜娜
周美英
陈生辉
杜延平
文献传递
一种可伸缩式间隔测量装置及方法
本发明涉及一种可伸缩式间隔测量装置,属于非球面检测领域,该测量装置由石英管、镶嵌螺套、伸缩杆一、十字分划板、伸缩杆二、接触式感应测针组成。其中伸缩杆一和伸缩杆二为移动部件,通过镶嵌螺套分别与石英管连接,实现测量装置的伸缩...
付西红
马娜娜
李硕
陈生辉
蒋鑫
杜延平
文献传递
一种角锥棱镜镀膜保护固定工装
本实用新型公开了一种角锥棱镜镀膜保护固定工装,包括底座,底座上设有用于放置待镀膜的角锥棱镜的通孔,所述通孔包括横向段和与横向段垂直相连并设置在横向段上方的竖向段,通孔与待镀膜的角锥棱镜的T形段相适配。本实用新型结构简单,...
付西红
陈生辉
李硕
马娜娜
文献传递
一种可变光阑的孔径及拨杆转角的测量机构及方法
本发明公开了一种可变光阑的孔径及拨杆转角的测量机构及方法,包括可变光阑转动装置,可变光阑转动装置(1)为管状,包括电机定子(1-2)、电机转子(1-3)、左固定环(1-8)、右固定环(1-4)、过渡环(1-5)和卡位环(...
付西红
李华
马娜娜
蒋鑫
刘杰
陈生辉
一种可伸缩式间隔测量装置
本实用新型涉及一种可伸缩式间隔测量装置,属于非球面检测领域,该测量装置由石英管、镶嵌螺套、伸缩杆一、十字分划板、伸缩杆二、接触式感应测针组成。其中伸缩杆一和伸缩杆二为移动部件,通过镶嵌螺套分别与石英管连接,实现测量装置的...
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