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王兴旺

作品数：6 被引量：4H指数：1
供职机构：中国计量科学研究院更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇压电陶瓷驱动
  • 3篇三维形貌
  • 3篇激光干涉
  • 2篇亚微米级
  • 2篇显微干涉
  • 2篇校准
  • 2篇校准装置
  • 2篇六自由度
  • 2篇激光
  • 2篇国际单位制
  • 2篇分光
  • 2篇白光干涉
  • 2篇测距
  • 2篇测距技术
  • 1篇示值
  • 1篇示值误差
  • 1篇坐标测量机
  • 1篇校准方法
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇计量学

机构

  • 6篇中国计量科学...
  • 1篇天津大学
  • 1篇中国计量大学

作者

  • 6篇皮磊
  • 6篇施玉书
  • 6篇高思田
  • 6篇李伟
  • 6篇李琪
  • 6篇李适
  • 6篇王兴旺
  • 5篇王鹤群
  • 5篇沈飞
  • 3篇郭鑫
  • 2篇李庆贤
  • 2篇张树
  • 1篇宋小平
  • 1篇陈思文

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
微纳坐标测量机间接校准方法的探究被引量：4
2017年
针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2μm,探测误差仅为0.125μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。
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关键词：计量学
一种纳米位移台六自由度校准装置
本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
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一种纳米位移台六自由度校准装置
本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
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文献传递
一种计量型微纳台阶高度测量装置
本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
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一种计量型微纳台阶高度测量装置
本实用新型公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本实用新型的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用...
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一种计量型微纳台阶高度测量装置
本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
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