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文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇激光
  • 3篇激光器
  • 2篇刻蚀
  • 2篇基横模
  • 2篇横模
  • 2篇反馈激光器
  • 2篇分布反馈激光...
  • 1篇等离子体
  • 1篇低阈值
  • 1篇欧姆接触
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇刻蚀深度
  • 1篇脊型波导
  • 1篇功率
  • 1篇管芯
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅图形
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇感应耦合

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇马骁宇
  • 3篇刘素平
  • 3篇董振
  • 2篇赵懿昊
  • 2篇王翠鸾
  • 2篇张奇
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
分布反馈激光器中基于纳米压印光栅干法刻蚀的方法
一种分布反馈激光器中基于纳米压印光栅干法刻蚀的方法,包括如下步骤:步骤1:取一外延片;步骤2:在该外延片的表面涂覆光刻胶,通过纳米压印工艺,在该外延片表面的光刻胶上制作出光栅图形;步骤3:清洁感应耦合等离子体反应室;步骤...
张奇赵懿昊董振刘素平马骁宇
文献传递
大功率低阈值基横模975nm半导体激光器管芯
本发明公开了一种大功率低阈值基横模975nm半导体激光器管芯,其中包括:一镓砷衬底,用于在其上生长激光器各外延层材料;一缓冲层,制作于衬底上;一下限制层,制作于缓冲层上;一下波导层,制作于下限制层上;一有源区,制作于下波...
董振王翠鸾刘素平马骁宇
文献传递
980nm大功率基横模分布反馈激光器被引量:6
2016年
980 nm波段的大功率半导体激光器作为抽运源有很重要的应用,但目前该类器件存在光束质量差和谱宽较宽的问题,影响其抽运效率和稳定性。为提高大功率半导体激光器的抽运效率,就要减小其光谱宽度,提升光束质量。而大功率基横模分布反馈激光器(DFB)通过在器件内部引入分布反馈光栅可以实现窄线宽激光的波长稳定输出,并通过优化脊型波导条件来实现基横模模式输出,提升光束质量。测试该器件的光电特性,1000μm腔长器件的阈值电流约为6 m A,斜率效率为0.71 W/A,最大稳定输出功率为130 m W。该激光器的波长随温度漂移系数为0.064 nm/K;对其远场发散角进行测量,得到快轴发散角为34°,慢轴发散角为6.3°。
张奇赵懿昊董振王翠鸾李伟刘素平马骁宇
关键词:激光器基横模脊型波导波长稳定
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