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董栋

作品数：9 被引量：3H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 5篇漏率
  • 4篇漏孔
  • 4篇标准漏孔
  • 3篇真空计
  • 3篇分子泵
  • 2篇多孔
  • 2篇多孔材料
  • 2篇压强
  • 2篇阳极键合
  • 2篇渗透仪
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇通过式
  • 2篇气体渗透
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀技术
  • 2篇孔材料
  • 2篇机械泵
  • 2篇键合
  • 2篇分子流
  • 2篇测量方法

机构

  • 9篇合肥工业大学

作者

  • 9篇董栋
  • 8篇王旭迪
  • 7篇尉伟
  • 6篇郑丁杰
  • 5篇邱克强
  • 5篇朱爱青
  • 4篇赵永恒
  • 2篇杨丹
  • 1篇李鑫

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种薄膜渗透仪及其测量方法
一种薄膜渗透仪及其测量方法属于化学工程技术领域，它涉及测量薄膜对气体渗透率的装置及其测量方法，本发明的目的是要解决现有测量薄膜对气体渗透率的方法存在漏放气和环境温度波动影响导致测量结果精确度低和测量过程复杂的问题，装置包...
王旭迪董栋尉伟杨丹朱郑乔若郑丁杰桑艾霞郑梦瑜
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硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔
本发明公开了一种硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔的方法，首先在预处理过的硅片上涂覆一层光刻胶，经全息曝光及ICP浅刻蚀技术在硅片上获得光栅图案。然后在硅片上涂覆一层光刻胶，经湿法腐蚀技术在硅片上获得深槽结构。...
王旭迪赵永恒尉伟邱克强朱爱青董栋郑丁杰桑艾霞朱郑乔若
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三种聚合物薄膜氦渗透率的测试被引量：2
2015年
本文提出利用氦质谱检漏仪测量聚合物薄膜渗透性能的方法,即通过聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚酰亚胺(PI)等三种聚合物薄膜对氦(He)的渗透率的测量,结合菲克定律计算相应的薄膜渗透率,并分析比较三种薄膜对He渗透率的大小。实验结果表明三种聚合物薄膜(PET、PDMS、PI)对氦的渗透率分别为:1.07×10^(-7)Pa·m^3/s、2.01×10^(-6)Pa·m^3/s、1.04×10^(-5)Pa·m^3/s,由于玻璃转变温度的差异,三种薄膜渗透率的大小如下:PDMS>PI>PET,玻璃转变温度最高的PE下对He的渗透率最小。本文测试方法的相对合成不确定度为5.79%,且该测试系统进行薄膜渗透性的测试具有测量时间短,操作简单,结果精确等优点。
董栋朱爱青王旭迪
关键词：氦质谱检漏仪渗透率
一种分子流标准漏孔及其制作方法
本发明涉及一种分子流标准漏孔及其制作方法。本发明的目的是为了解决现有技术中标准漏孔无法保证在大气压强范围内处于分子流状态，漏率大小可控性差，难以获得预定的漏率大小且制作过程复杂等问题。本发明所提供的标准漏孔，其结构包括第...
王旭迪朱爱青尉伟邱克强赵永恒董栋郑丁杰桑艾霞朱郑乔若
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硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔
本发明公开了一种硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔的方法，首先在预处理过的硅片上涂覆一层光刻胶，经全息曝光及ICP浅刻蚀技术在硅片上获得光栅图案。然后在硅片上涂覆一层光刻胶，经湿法腐蚀技术在硅片上获得深槽结构。...
王旭迪赵永恒尉伟邱克强朱爱青董栋郑丁杰桑艾霞朱郑乔若
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一种薄膜渗透仪及其测量方法
一种薄膜渗透仪及其测量方法属于化学工程技术领域，它涉及测量薄膜对气体渗透率的装置及其测量方法，本发明的目的是要解决现有测量薄膜对气体渗透率的方法存在漏放气和环境温度波动影响导致测量结果精确度低和测量过程复杂的问题，装置包...
王旭迪董栋尉伟杨丹朱郑乔若郑丁杰桑艾霞郑梦瑜
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一种分子流标准漏孔及其制作方法
本发明涉及一种分子流标准漏孔及其制作方法。本发明的目的是为了解决现有技术中标准漏孔无法保证在大气压强范围内处于分子流状态，漏率大小可控性差，难以获得预定的漏率大小且制作过程复杂等问题。本发明所提供的标准漏孔，其结构包括第...
王旭迪朱爱青尉伟邱克强赵永恒董栋郑丁杰桑艾霞朱郑乔若
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薄膜材料气体渗透率的差压法测量
随着薄膜应用日益广泛，薄膜气体渗透率测量的要求愈显重要。而现有薄膜材料气体渗透率测量方法中存在真空室本底压强影响、测量系统费用高、操作复杂、测量气体单一等问题。　　针对渗透率测量存在的问题，本文基于差压法测量气体对薄膜材...
董栋
关键词：差压法
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一种漏孔漏率测量装置
本发明一种漏孔漏率测量装置属于泄漏检测技术领域，它涉及对漏孔漏率进行测量的一种测量装置；通过引入一个与测量室体积、材料和处理方式完全一样的参考室，可以降低本底放气以及环境温度变化的对测量精度的影响；该装置为全金属真空系统...
王旭迪魏本猛尉伟邱克强寇钰董栋李鑫孟智鹏
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