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张金英
作品数:
13
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
中国航空科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
理学
机械工程
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合作作者
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
何欢
中国科学院半导体研究所
朱银芳
中国科学院半导体研究所
魏伟伟
中国科学院半导体研究所
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机构
13篇
中国科学院
作者
13篇
杨富华
13篇
杨晋玲
13篇
张金英
4篇
朱银芳
4篇
何欢
3篇
魏伟伟
1篇
王晶晶
1篇
廖驹
传媒
1篇
航空兵器
年份
1篇
2020
3篇
2018
3篇
2017
2篇
2016
4篇
2015
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用于谐振式微纳生化器件的集成系统
一种用于谐振式微纳生化器件的集成系统,包括:一固定支架;一底板,其制作在固定支架的上面的中间;一盖片,其中间的一侧开有凹槽,便于固定压制微纳生化器件,该盖片位于底板的一侧;一顶板,其制作在盖片的上面;该盖片和顶板的上面开...
杨晋玲
王栎皓
廖驹
张金英
朱银芳
杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两个结...
杨晋玲
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨富华
基于MEMS VOA阵列的红外场景生成器
2016年
针对动态半实物仿真系统的需求,提出了一种新颖的基于微机电系统(MEMS)技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器(VOA)阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构,提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案,为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨晋玲
杨富华
关键词:
微机电系统
可变光衰减器
阵列
洛伦兹力
自激励自检测探针及其制作方法
一种自激励自检测探针,包括:一探针基座;一微悬臂梁,用作探测的基本部件,该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接,该探针基座对微悬臂梁提供支撑;一探针针尖,位于微悬臂梁的自由端;在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线,该金...
杨晋玲
刘晓晨
朱银芳
张金英
杨富华
文献传递
集成超声换能器的AFM探针阵列
一种集成超声换能器的AFM探针阵列,包括:一基座,该基座为矩形;多个微悬臂梁,其分别与基座的一侧边连接,每一微悬臂梁上制作有针尖;多个超声换能器,其分别制作在多个微悬臂梁的背面及或基座的背面;其中多个微悬臂梁和多个超声换...
何欢
张金英
杨晋玲
杨富华
文献传递
用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法
一种用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法,包括:对SOI片进行清洗;淀积二氧化硅层;形成两个压阻以及电学连接线;光刻和刻蚀,形成窗口;刻蚀出局域修饰区,在双端固支梁的表面生长金属薄膜;生长掩膜层;在窗口内掩...
王晶晶
杨晋玲
朱银芳
张金英
杨富华
文献传递
一种基于微机电技术的M×N光交换阵列
本发明涉及一种基于微机电技术的M×N路光交换阵列,可将M路输入端中的任一个光束耦合到任意一个N路输出端中,实现对输入光的交换,其特征在于:所述光交换阵列由M路输入光纤、N路输出光纤和N层MEMS微镜阵列器件等部分组成;光...
张金英
吕兴东
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两...
杨晋玲
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨富华
文献传递
自激励自检测探针及其制作方法
一种自激励自检测探针,包括:一探针基座;一微悬臂梁,用作探测的基本部件,该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接,该探针基座对微悬臂梁提供支撑;一探针针尖,位于微悬臂梁的自由端;在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线,该金...
杨晋玲
刘晓晨
朱银芳
张金英
杨富华
一种扫描探针及其制作方法
本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现,即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁,针尖利用低温氧化技术进行锐化,并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微...
杨晋玲
何欢
张金英
杨富华
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