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张金英

作品数:13 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:中国航空科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 4篇微悬臂梁
  • 3篇压阻
  • 3篇探针
  • 3篇洛伦兹
  • 3篇洛伦兹力
  • 2篇淀积
  • 2篇荫罩
  • 2篇针尖
  • 2篇阵列式
  • 2篇锐化
  • 2篇扫描探针
  • 2篇声换能器
  • 2篇生化
  • 2篇驱动电流
  • 2篇自激励
  • 2篇自检测
  • 2篇微机
  • 2篇微机电技术
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇换能器

机构

  • 13篇中国科学院

作者

  • 13篇杨富华
  • 13篇杨晋玲
  • 13篇张金英
  • 4篇朱银芳
  • 4篇何欢
  • 3篇魏伟伟
  • 1篇王晶晶
  • 1篇廖驹

传媒

  • 1篇航空兵器

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
用于谐振式微纳生化器件的集成系统
一种用于谐振式微纳生化器件的集成系统,包括:一固定支架;一底板,其制作在固定支架的上面的中间;一盖片,其中间的一侧开有凹槽,便于固定压制微纳生化器件,该盖片位于底板的一侧;一顶板,其制作在盖片的上面;该盖片和顶板的上面开...
杨晋玲王栎皓廖驹张金英朱银芳杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两个结...
杨晋玲吕兴东魏伟伟张金英杨富华
基于MEMS VOA阵列的红外场景生成器
2016年
针对动态半实物仿真系统的需求,提出了一种新颖的基于微机电系统(MEMS)技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器(VOA)阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构,提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案,为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。
吕兴东魏伟伟张金英杨晋玲杨富华
关键词:微机电系统可变光衰减器阵列洛伦兹力
自激励自检测探针及其制作方法
一种自激励自检测探针,包括:一探针基座;一微悬臂梁,用作探测的基本部件,该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接,该探针基座对微悬臂梁提供支撑;一探针针尖,位于微悬臂梁的自由端;在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线,该金...
杨晋玲刘晓晨朱银芳张金英杨富华
文献传递
集成超声换能器的AFM探针阵列
一种集成超声换能器的AFM探针阵列,包括:一基座,该基座为矩形;多个微悬臂梁,其分别与基座的一侧边连接,每一微悬臂梁上制作有针尖;多个超声换能器,其分别制作在多个微悬臂梁的背面及或基座的背面;其中多个微悬臂梁和多个超声换...
何欢张金英杨晋玲杨富华
文献传递
用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法
一种用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法,包括:对SOI片进行清洗;淀积二氧化硅层;形成两个压阻以及电学连接线;光刻和刻蚀,形成窗口;刻蚀出局域修饰区,在双端固支梁的表面生长金属薄膜;生长掩膜层;在窗口内掩...
王晶晶杨晋玲朱银芳张金英杨富华
文献传递
一种基于微机电技术的M×N光交换阵列
本发明涉及一种基于微机电技术的M×N路光交换阵列,可将M路输入端中的任一个光束耦合到任意一个N路输出端中,实现对输入光的交换,其特征在于:所述光交换阵列由M路输入光纤、N路输出光纤和N层MEMS微镜阵列器件等部分组成;光...
张金英吕兴东杨晋玲杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两...
杨晋玲吕兴东魏伟伟张金英杨富华
文献传递
自激励自检测探针及其制作方法
一种自激励自检测探针,包括:一探针基座;一微悬臂梁,用作探测的基本部件,该微悬臂梁与探针基座一端的中间连接,该探针基座对微悬臂梁提供支撑;一探针针尖,位于微悬臂梁的自由端;在探针基座及微悬臂梁表面边缘上有金属导电线,该金...
杨晋玲刘晓晨朱银芳张金英杨富华
一种扫描探针及其制作方法
本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现,即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁,针尖利用低温氧化技术进行锐化,并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微...
杨晋玲何欢张金英杨富华
共2页<12>
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