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韩丹丹
韩丹丹
作品数:
10
被引量:1
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供职机构:
浙江大学
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相关领域:
文化科学
机械工程
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合作作者
焦旭芬
浙江大学
卢乾波
浙江大学
白剑
浙江大学
陈佩文
浙江大学
汪凯巍
浙江大学
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文化科学
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机械工程
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光机电
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硅器件
机构
10篇
浙江大学
作者
10篇
韩丹丹
9篇
白剑
9篇
卢乾波
9篇
焦旭芬
6篇
汪凯巍
6篇
陈佩文
年份
1篇
2023
3篇
2018
2篇
2017
4篇
2016
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10
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抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波
白剑
汪凯巍
焦旭芬
韩丹丹
陈佩文
文献传递
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波
白剑
汪凯巍
焦旭芬
韩丹丹
陈佩文
文献传递
一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次...
卢乾波
白剑
汪凯巍
焦旭芬
韩丹丹
陈佩文
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高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量...
卢乾波
白剑
娄树旗
焦旭芬
韩丹丹
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超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波
白剑
汪凯巍
焦旭芬
韩丹丹
陈佩文
文献传递
抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成,微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方;微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波
白剑
汪凯巍
焦旭芬
韩丹丹
陈佩文
高精度微光学加速度计的温度特性研究
微机械(Micro-electro-mechanical Systems,MEMS)加速度计有体积小、能耗低、便于集成等优点,被广泛用于医疗、惯导、地震监测、汽车安全等领域。传统的MEMS加速度计易受到电磁干扰,并且灵敏...
韩丹丹
关键词:
温度性能
封装结构
热应力
高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量...
卢乾波
白剑
娄树旗
焦旭芬
韩丹丹
一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构
本实用新型公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构,所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块,四个对称分布的蟹脚型悬臂梁,连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜;敏感质量块的重心...
卢乾波
白剑
娄树旗
焦旭芬
韩丹丹
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一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计
本实用新型公开了一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底,微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波
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