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王丽影

作品数：9 被引量：3H指数：1
供职机构：中国矿业大学更多>>
发文基金：江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术矿业工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇矿业工程

主题

  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇甲烷传感器
  • 4篇圆片
  • 4篇硅圆片
  • 4篇催化
  • 4篇催化剂
  • 3篇煤矿
  • 3篇煤矿安全
  • 3篇甲烷
  • 3篇催化剂载体
  • 2篇电容
  • 2篇电泳沉积
  • 2篇形变
  • 2篇圆片级
  • 2篇折叠结构
  • 2篇热形变
  • 2篇瓦斯
  • 2篇微电子

机构

  • 9篇中国矿业大学

作者

  • 9篇王丽影
  • 8篇马洪宇
  • 8篇秦顺利
  • 3篇丁恩杰
  • 1篇王刚
  • 1篇王前
  • 1篇胡延军
  • 1篇杨丽娟

传媒

  • 1篇工矿自动化

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感...
马洪宇秦顺利王丽影丁恩杰
矿用MEMS甲烷传感器硅微加热器功率优化设计被引量：3
2018年
在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统(MEMS)甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型;然后根据计算结果,利用ANSYS软件对U型双悬臂梁式硅微加热器进行了以掺杂浓度、两悬臂间距、悬臂梁宽度为影响因素的正交试验,研究了不同因素对硅微加热器功率的影响。试验结果表明:悬臂梁宽度和掺杂浓度为硅微加热器功率的主要影响因素,两悬臂间距影响较小;硅微加热器功率随悬臂梁宽度的减小而减小,随掺杂浓度的升高先增大后减小;温度为600℃时,选取悬臂梁宽度为25μm、掺杂浓度为1019 cm-3、两悬臂间距为10μm可使硅微加热器功率最优。
王丽影王丽影马洪宇
关键词：煤矿安全功率优化
基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用
一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法，属于甲烷传感器及其制备方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷...
马洪宇秦顺利王丽影
文献传递
基于掺杂效应的高温微加热器设计
为保障煤矿的安全生产和井下人员的生命安全，开发可随身携带的瓦斯传感器对瓦斯进行实时检测十分必要。MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems ）即微机电系统，是一种把现代集成电路工艺与纳米级...
王丽影
关键词：瓦斯传感器掺杂改性微加热器功率优化有限元仿真微机电系统
一种电容式MEMS气体传感器
一种电容式MEMS传感器，尤其适用煤矿安全监测以及生产生活中对空气中甲烷气体的检测，也可运用于特殊环境中氦气、二氧化碳、氩气等气体的检测，其包括一个热执行器和两个梳齿电容，热执行器包括若干对硅梁、一个微梭和锚区；每组梳齿...
马洪宇王丽影秦顺利
文献传递
一种电容式MEMS气体传感器
一种电容式MEMS传感器，尤其适用煤矿安全监测以及生产生活中对空气中甲烷气体的检测，也可运用于特殊环境中氦气、二氧化碳、氩气等气体的检测，其包括一个热执行器和两个梳齿电容，热执行器包括若干对硅梁、一个微梭和锚区；每组梳齿...
马洪宇王丽影秦顺利
文献传递
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级...
秦顺利马洪宇王丽影丁恩杰
文献传递
全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法
一种全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法，适用于工矿环境下使用，属于甲烷传感器及其制备方法与检测方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该全硅MEMS传感器采用单晶硅作为加热元件的...
马洪宇王丽影秦顺利
文献传递
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感...
马洪宇丁恩杰秦顺利杨丽娟王丽影王前王刚胡延军
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