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朱宝

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:复旦大学微电子学院更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电路
  • 1篇射频集成
  • 1篇射频集成电路
  • 1篇介电
  • 1篇介电常数
  • 1篇金属
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘介质
  • 1篇绝缘体
  • 1篇集成电路
  • 1篇高介电常数
  • 1篇MIM

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇上海建桥学院

作者

  • 1篇张秋香
  • 1篇朱宝

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2014
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
射频集成电路用高性能金属—绝缘体—金属电容的研究
2014年
随着无线通讯技术的快速发展,高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器已引起人们的极大关注,成为下一代射频集成电路的必然选择。本文从MIM电容的技术背景、制备方法、绝缘介质的设计以及电极材料几个方面,对MIM电容器件的研究进展进行了较全面的综述,可望为开发下一代射频集成电路用高性能MIM电容提供技术指导。
张秋香朱宝丁士进
关键词:高介电常数绝缘介质
共1页<1>
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