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朱宝
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复旦大学微电子学院
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相关领域:
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合作作者
张秋香
复旦大学微电子学院
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张秋香
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2014
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射频集成电路用高性能金属—绝缘体—金属电容的研究
2014年
随着无线通讯技术的快速发展,高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器已引起人们的极大关注,成为下一代射频集成电路的必然选择。本文从MIM电容的技术背景、制备方法、绝缘介质的设计以及电极材料几个方面,对MIM电容器件的研究进展进行了较全面的综述,可望为开发下一代射频集成电路用高性能MIM电容提供技术指导。
张秋香
朱宝
丁士进
关键词:
高介电常数
绝缘介质
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