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刘雪娇

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇推广应用
  • 1篇军民融合
  • 1篇军民融合发展

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇姜家宏
  • 1篇杨师
  • 1篇刘雪娇

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学机械抛光技术军民融合发展及推广应用被引量：1
2016年
介绍了化学机械抛光设备的主要技术特点及功能,技术特点包括抛光盘制造及装配、抛光头压力控制、抛光液流量控制、抛光盘温度控制及晶片蜡粘与断电保护机构等;主要功能介绍了抛光头单独控制、自适应柔性承载器、外形及内部结构特点、人性化操作界面及自动控制程序等。说明了现阶段国内化学机械抛光设备的主要发展方向。
杨师姜家宏刘雪娇
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