樊波
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：苏州大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学机械工程更多>>
- MEMS类蛛网状盘式谐振陀螺结构设计研究
- MEMS振动陀螺是基于科式效应和微机械加工工艺的角速度传感器。因其体积、功耗和成本方面具有无可比拟的优势,广泛应用在消费电子、汽车安全和工业自动化等领域。然而目前MEMS振动陀螺的精度受自身尺寸约束和加工工艺等问题限制,...
- 樊波
- 关键词：能量损耗
- 文献传递
- 硅微角振动陀螺振动灵敏度分析及结构优化方法
- 硅微陀螺仪是一类新型的MEMS惯性传感器，以其体积小、成本低、可靠性高等优点被重点关注，在军事和民用领域有着广泛的应用。随着硅微陀螺仪的性能不断提升，其应用范围变广，应用环境也更加苛刻。由于受到加工工艺的限制，对环境因素...
- 樊波
- 关键词：硅微陀螺仪结构优化抗振性能
- 单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪
- 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元...
- 郭述文周铭樊波
- 文献传递
- 类蛛网状盘式谐振微陀螺的抗冲击性能与结构误差仿真分析
- 2023年
- 具有导航级潜能的盘式谐振微陀螺是国际研究最热门的一类微机械陀螺,在此基础上设计了一款频率裂解小的类蛛网状盘式谐振微陀螺。通过有限元仿真软件进行了模态分析和冲击分析,仿真结果表明,类蛛网状盘式谐振微陀螺工作模态与寄生模态最小频差为3.9kHz,可承受的冲击载荷加速度高达25000 g。此外,开展了晶向误差和工艺误差等结构误差对频率裂解影响的仿真研究,结果表明,其比圆环状盘式谐振陀螺在频率裂解上具有更低的结构误差敏感度。综上说明该结构能有效抑制寄生模态干扰、抗冲击性能强且结构误差鲁棒性好,具有较好的发展前景。
- 樊波樊波
- 关键词：微机械抗冲击特性
- 单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪
- 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元...
- 郭述文周铭樊波
