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杨拥军
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中北大学
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合作作者
张苹
清华大学
刘伟
中国电子科技集团第十三研究所
丁红宇
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崔波
上海交通大学
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作者
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崔波
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杨拥军
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1篇
2010
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微机电系统(MEMS)技术 术语
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
丁红宇
刘伟
张苹
崔波
杨拥军
叶雄英
陈迪
石云波
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传感器
控制装置
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