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孟祥

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域:生物学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇生物学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇单细胞
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机电系统技...
  • 1篇细胞
  • 1篇细胞黏附
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米线
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机电系统
  • 1篇硅基
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇高通量
  • 1篇饱和度
  • 1篇
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 2篇车录锋
  • 2篇周晓峰
  • 2篇孟祥
  • 1篇梁盛林

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究
2017年
采用微机电系统(MEMS)技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片,细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过实验计算和分析得知,在0.7~23μm内,纳米线长度约为3μm时深宽比适宜,有利于黏附蛋白充分铺展,黏附效率达到最高85%。改变培养时间(5~480 min)和细胞浓度(0.5~4.0),发现培养时间在不低于4 h,细胞浓度在1.5时,由于伪足充分缠绕于纳米线上,阵列饱和度达到最高83%。实验结果表明:制作出的单细胞阵列芯片具有较高的黏附效率和阵列饱和度,达到了高通量的标准。
孟祥周晓峰车录锋
关键词:微机电系统技术
基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法
本发明涉及一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法,所述结构分为槽型结构、柱型结构。所述槽型结构主要通过一次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现;柱型结构主要通过两次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现,且其阵列单元...
周晓峰梁盛林车录锋孟祥
文献传递
共1页<1>
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