林灿发
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
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- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 数字驱动系统死区效应的双刷新补偿被引量：2
- 2012年
- 针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真、推力波动,从而限制其在精密气浮工作台等高精度、低频轻载场合应用的问题,提出了一种根据相电流极性改变驱动器输入信号脉冲宽度来补偿死区效应的方法,双刷新补偿法(DUDTC)。首先,分析了死区效应引起的驱动器输出信号脉冲宽度变化,给出了脉宽调制(PWM)信号上升沿和下降沿的补偿与相电流极性间的关系;然后,在Matlab/Simulink中对死区效应的影响和双刷新补偿法的作用进行仿真;最后,在直线气浮工作台系统中实现了双刷新补偿法。实验显示,该方法相位延迟仅0.5个伺服周期,在电机速度开环和闭环下均使相电流畸变减小,波形正弦化。结果表明,双刷新补偿法能有效改善直线电机电流环性能,且代码量少、移植性好,适用于各类数字开关驱动系统。
- 王雷王龙唐学军林灿发
- 关键词：死区补偿永磁同步直线电机精密工作台电流环
- 光刻机掩模台运动控制器设计
- 光刻机是大规模集成电路芯片制造的关键设备,它的性能指标直接影响到集成芯片的设计与应用范围。随着光刻机制作线宽的不断减小,生产效率不断提高,对工件台和掩模台控制系统的定位精度和运行速度越来越高。本文针对掩模台的结构,设计了...
- 林灿发
- 关键词：运动控制VME总线性能指标
- 文献传递
