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韩隽
作品数:
1
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供职机构:
无锡微电子科研中心
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
肖军
无锡微电子科研中心
莫科伟
无锡微电子科研中心
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Flash memory中的叠栅腐蚀工艺
2002年
本文主要介绍了 Intel 式 Flash memory 单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了 Flash 叠栅自对准腐蚀对 Flash 性能的重要性。
莫科伟
肖军
韩隽
关键词:
FLASH
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