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韩隽

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:无锡微电子科研中心更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇FLASH_...
  • 1篇MEMORY
  • 1篇FLASH

机构

  • 1篇无锡微电子科...

作者

  • 1篇莫科伟
  • 1篇肖军
  • 1篇韩隽

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2002
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Flash memory中的叠栅腐蚀工艺
2002年
本文主要介绍了 Intel 式 Flash memory 单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了 Flash 叠栅自对准腐蚀对 Flash 性能的重要性。
莫科伟肖军韩隽
关键词:FLASHMEMORY
共1页<1>
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