庞武斌
- 作品数：11 被引量：35H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计被引量：10
- 2016年
- 针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径（NA）投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径（NA）为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85～1.35变化时的最大远心度由5.83～17.57mrad降低至0.26～3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。
- 徐明飞庞武斌徐象如王新华黄玮
- 关键词：光学设计
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置属于大视场数字成像系统，目的在于解决现有技术存在的探测器尺寸不足和球面镜头成像受限制的问题。本发明包括三组成像系统，每组成像系统包括一个同心球物镜和相应的像面探测器阵列，三组成像系统的...
- 庞武斌贾树强张广许伟才黄玮
- 文献传递
- 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响被引量：6
- 2015年
- 以45nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响。建立了"支撑块-胶层-反射镜"的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析。仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25nm。最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化。结果显示:当胶层厚度为200,280,400μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性。
- 贾树强黄玮庞武斌
- 关键词：光机系统反射镜胶层有限元模型
- 三镜头探测器阵列视频采集装置
- 三镜头探测器阵列视频采集装置属于大视场视频成像领域，目的在于解决现有技术存在的拼接不紧凑和成本高的问题。本发明包括成像单元和合成单元；成像单元包括三组成像系统，成像系统包括一个摄像镜头和一组探测器阵列，三个摄像镜头成像区...
- 徐明飞范洪杰张广庞武斌黄玮
- 文献传递
- 压缩编码孔径红外成像超分辨重建被引量：3
- 2016年
- 为了利用低分辨率红外探测器获取高质量图像信息,对基于频谱面的压缩编码孔径成像方法和超分辨率图像重建算法进行了研究。首先,在频谱面加入孔径编码器,通过傅里叶变换对采样图像信号进行编码压缩。然后,利用光学成像系统的分片光滑性,实现信号在傅里叶变换域的稀疏表示。最后,提出了两点步长梯度法与自适应非单调线搜索策略相结合的梯度投影并行加速算法,用于完成对稀疏信号的超分辨重建。实验结果表明,该算法能够以远小于原始信号的数据量重建出高分辨率图像信息。
- 王新华欧阳继红庞武斌
- 关键词：计算机应用压缩感知超分辨重建
- 微镜头阵列球面排布方法研究被引量：4
- 2015年
- 为了解决微镜头阵列在球面上的排布问题,提出了一种通用的基于正二十面体阵列点微移动排布方法。采用与排布球面同心正二十面体点阵投射方法获取微镜头中心点在球面上的初始排布。以弦长率和填充率为评价函数,采用点阵微移动法对此初始结构进行优化。完成方法通用性测试并和一种基于局部球面的经纬线排布法进行对比。实验结果表明,在排布球冠面立体角较大、微相机数量较多的情况下,采用该方法可以获得弦长率低于0.17,填充率达到75%以上的排布表现,同时其良好的排布对称性有效提高了微镜头阵列的成像性能。
- 庞武斌黄玮王新华贾树强
- 关键词：光学设计填充率
- 偏振对光学系统成像质量的影响被引量：9
- 2012年
- 通常情况下,评价光学成像系统像质的几个重要参数,如能量集中度(Strehl比)、分辨率、焦深等,都是以标量衍射理论为基础进行计算和分析的.考虑光波的矢量偏振特性,尤其是在高数值孔径系统中,标量衍射的精度已不能满足精度要求.本文讨论了在采用矢量衍射计算方法基础上,上述成像参数的变化,所讨论系统入瞳面各点为偏振方向一致的线偏光或部分偏光,以便于考察偏振对所述成像参数的影响,通过公式推导和数值计算,得出了由于偏振的影响.系统衍射斑能量极大值变小,像面和偏振平行方向分辨率降低,分辨率出现各向异性,只有系统焦深受偏振影响较小.而这些矢量效应会随着系统数值孔径的提高而愈加明显,因此在分析处理数值孔径较高的光学系统时必须使用矢量衍射方法.最后讨论了轴外点衍射斑的计算.
- 庞武斌岑兆丰李晓彤钱炜尚红波许伟才
- 关键词：偏振光矢量衍射理论成像质量数值孔径
- 基于光线光学的非线性自聚焦现象的仿真分析被引量：3
- 2013年
- 采用光线光学方法对非线性自聚焦现象进行仿真,能够从宏观上直观地体现强激光的传输过程,同时避免采用近轴近似、自相似近似等.本文采用在光传输路径上垂直于光轴切片的方法,将光的非线性传输转化为切片上的光对折射率的调制作用和切片间的线性传输.在切片端面上统计光强后对量化误差进行了抑制,而线性传输过程采用了亚当斯法求解光线方程从而解决了龙格库塔法等不能用于非线性光传输仿真的问题.仿真结果显示,强激光自聚焦在轴上有多个焦点,且第一个焦点的位置随光功率的增大而更靠近入射位置;由于追迹的是实际光线,故可以得到近轴区以外区域自聚焦及成丝(环)的情况,这对于强激光系统安全是有重要意义的.利用已有的同样基于光线追迹方法的光学设计、仿真软件,可以把非线性自聚焦介质和线性介质结合起来,仿真光在实际强激光系统中的传输.
- 阮望超岑兆丰李晓彤刘洋舟庞武斌
- 偏振对高NA光学系统成像影响的研究
- 随着成像光学系统分辨率的不断提高，电场矢量的偏振方向对成像质量的影响变得越来越不可忽视。利用几种不同形式的传输矩阵计算偏振光在光学器件中的传输，再通过快速傅里叶变换计算三个直角坐标分量的偏振分量的衍射聚焦斑，各分量强度叠...
- 庞武斌
- 关键词：光学成像系统超分辨率点扩散函数
- 文献传递
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置属于大视场数字成像系统，目的在于解决现有技术存在的探测器尺寸不足和球面镜头成像受限制的问题。本发明包括三组成像系统，每组成像系统包括一个同心球物镜和相应的像面探测器阵列，三组成像系统的...
- 庞武斌贾树强张广许伟才黄玮
- 文献传递
