袁飞
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
- 供职机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计被引量：6
- 2015年
- 设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度制作,降低了热机械噪声,增大了检测电容,提高了灵敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真结果表明,器件在3个轴向的灵敏度一致性好,抗干扰,测试结果和理论分析相符。该加速度计结构工艺简单,在消费电子领域有较好的应用前景。
- 陈立国袁飞陈涛孙立宁
- 关键词：微机电系统
