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闵伟

作品数：25 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 15篇电机
  • 15篇光刻
  • 15篇光刻机
  • 12篇工位
  • 9篇平面电机
  • 7篇套刻
  • 7篇套刻精度
  • 7篇轴承
  • 6篇直线电机
  • 5篇基台
  • 4篇动圈
  • 4篇动圈式
  • 4篇阵列
  • 4篇平面尺寸
  • 4篇线圈
  • 4篇机器人
  • 4篇机器人领域
  • 4篇加速度
  • 3篇电动机
  • 3篇真空轴承

机构

  • 25篇清华大学
  • 1篇谢菲尔德大学

作者

  • 25篇朱煜
  • 25篇张鸣
  • 25篇闵伟
  • 24篇段广洪
  • 23篇汪劲松
  • 23篇尹文生
  • 22篇徐登峰
  • 21篇胡金春
  • 21篇杨开明
  • 10篇李广
  • 6篇蔡田
  • 3篇许岩
  • 3篇田丽
  • 2篇曹家勇
  • 2篇穆海华
  • 1篇诸自强
  • 1篇陈金涛

传媒

  • 1篇微特电机

年份

  • 3篇2012
  • 6篇2011
  • 1篇2010
  • 9篇2009
  • 4篇2008
  • 2篇2007
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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一种掩膜台系统
一种掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括磁悬浮装置，振动装置、驱动装置和掩膜台。所述磁悬浮装置由固定在掩膜台上的永磁体和被永磁体吸引的固定在光刻机机架上的铁磁性部件组成，在驱动装置的配合下使掩膜台在工作中保持悬浮...
张鸣朱煜汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明穆海华段广洪
大范围移动磁浮平面工作台
大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁...
朱煜曹家勇张鸣尹文生汪劲松段广洪李广闵伟
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采用三维永磁阵列的平面电机
采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充...
朱煜张鸣汪劲松闵伟胡金春尹文生杨开明徐登峰段广洪蔡田
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动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台
动圈式大范围移动磁浮六自由度工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述基台顶部设置有平面永磁阵列，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，所述移动电磁结构由四个以上线圈阵列组成，所...
朱煜汪劲松张鸣闵伟胡金春尹文生徐登峰杨开明段广洪
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一种采用槽型线圈的平面电机
一种采用槽型线圈的平面电机，主要应用于机械制造设备与机器人领域。该平面电机包括动子和定子，所述动子由四个一维线圈阵列组成，相邻线圈阵列的排列方向互成90°，每个一维线圈阵列由无铁芯矩形线圈和矩形两短边上翘成槽型的无铁芯槽...
朱煜张鸣汪劲松闵伟胡金春尹文生杨开明徐登峰段广洪蔡田
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采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成，平面电机采用永磁...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成，平面电机采用永磁...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
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采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
一种采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统包括基台和两个相同的可以在基台上做大范围平面运动的硅片台。基台顶部设置有平面永磁阵列，每个硅片台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构和气浮结构组成，移动电磁结...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
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采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换装置
采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换装置，属于半导体制造装备技术领域。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统
一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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