张健
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断被引量：5
- 2007年
- 用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变化，其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势相一致。测量了氩离子的434．8nm谱线强度随气压在轴向的变化并获得了氩离子的434．8nm谱线强度与氩原子的430．0nm谱线强度的比值在轴向三个不同位置的变化。从测得的结果可知：在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体，在靶附近有所降低，在中部以下等离子体密度逐渐变低；在径向6-7cm以内的区域等离子体参数变化不大，形成了均匀稳定的等离子体，等离子体参数在器壁处变化明显。
- 张健任春生齐雪莲王友年
- 关键词：LANGMUIR探针发射光谱感应耦合等离子体等离子体参数
- 射频感应耦合氩等离子体的Langmuir探针和发射光谱诊断
- 本实验采用自制Langmuir探针和发射光谱对柱面射频感应耦合氩气等离子体进行了诊断。实验中，研究了在线圈之间什么也不加时等离子体参数在一定功率下随气压在轴向、径向的变化规律，同时采用发射光谱测量了Ar原子和离子的发光强...
- 张健
- 关键词：感应耦合等离子体LANGMUIR探针发射光谱
- 文献传递
- 射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响被引量：2
- 2007年
- 用射频等离子体增强非平衡磁控溅射在Si100基底上沉积了金属Cu膜。研究了偏压,射频功率和磁场等沉积参数对膜性能的影响。用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和电子能谱(EM)检测了膜的表面形貌,结构和成分。结果表明,射频放电有利于表面均匀光滑、电导率高的Cu沉积膜的形成;沉积参数对沉积膜的性能有重要的影响。
- 齐雪莲任春生张健麻冰欣马腾才
- 关键词：射频非平衡磁控溅射CU膜
- 高Al含量的亚稳β型Ti-Al-Mo-Nb-V系列钛合金的组织与力学性能
- 2024年
- 目前,亚稳β钛合金的成分朝着更高Al含量和更高β稳定元素含量的方向发展,本工作基于典型亚稳β钛合金β-21S和TB18的成分设计思路,添加了更高含量的Al元素,同时添加了Mo、Nb、V三种β稳定元素,设计并利用铜模吸铸法制备了高Al含量的亚稳β型Ti-Al-(Mo,Nb,V)系列钛合金。结果表明,Ti-6.5Al-1.5V-11.5Mo-2.8Nb合金在吸铸态下的β相结构达到临界稳定状态。此时,该合金的拉伸屈服强度为623 MPa,延伸率为16.6%,其屈服强度略低于对标合金TB18,但延伸率明显高于同系列合金和TB18合金,具有最佳的综合力学性能。此外,该合金液固温区为31℃,在同系列合金中最低,且明显低于对标合金TB18的液固温区238℃。
- 张健朱智浩张爽董闯
- 关键词：亚稳Β钛合金显微组织力学性能
