王文静
- 作品数:3 被引量:6H指数:1
- 供职机构:大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究
- 本文采用正交试验法对UV LIGA技术制作柔性电热微夹钳过程中的前烘时间、曝光时间、后烘温度以及后烘时间四个因素进行优化研究,详细讨论了四个因素对胶模质量的影响,最终得到最优的光刻工艺参数。在此基础上,制作出高质量的微夹...
- 刘帅褚金奎张然王文静
- 关键词:正交试验
- 文献传递
- 柔性微夹钳的拓扑优化设计及制作工艺被引量:6
- 2010年
- 根据连续体结构拓扑优化技术,采用基于SIMP插值模型的变密度法,以最大输出位移为目标设计了一种新型柔性微夹钳的结构,这种钳体结构新颖,拓扑构型为钳口常闭型,依靠钳体自身回程反力夹持物体,能量消耗少,而且钳口张开范围大,通用性好。文中具体阐述了拓扑优化的设计过程,并对设计结果进行了几何重构,同时对整体电热驱动微夹钳进行了有限元分析,仿真结果验证了设计结果。根据设计结果,采用UV-LIGA技术制作了电热驱动微夹钳。
- 张成禇金奎张然王文静
- 关键词:拓扑优化电热驱动UV-LIGA技术
- 基于视觉的微夹钳位移测试技术研究
- 2011年
- 微夹钳输出位移是它的一个重要特性,微夹钳整体尺寸比较小,不能用常规方法测量输出位移。针对微夹钳的特点,提出一种微夹钳位移测试方法,采用非接触式测量,设计了一种基于视觉的微位移测试装置,并开发了配套的测量软件。测试软件通过LabVIEW软件平台实现,能够实现图像标定、测量和图像标注等功能。给出了详细的图像标定方法,通过台式测微尺实现。最后对微夹钳进行位移测试实验,验证了测量装置的可用性,并总结出微夹钳位移随电压变化的规律。位移测量装置的精度为±1μm,且具有一定的通用性,可用于其他MEMS器件的位移测试。
- 王文静褚金奎张然张成
- 关键词:机器视觉LABVIEW