江黎
- 作品数：13 被引量：23H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 微半球谐振陀螺技术研究进展被引量：7
- 2017年
- 首先介绍了微半球谐振陀螺(μHRG)基于驻波进动效应进行角度或角速度检测的工作原理。依据谐振子制作工艺的区别,将微半球谐振陀螺分为微玻璃吹制型、牺牲层型、精加工型三种,并对上述三种类型微半球谐振陀螺的加工工艺方案及特点、谐振子尺寸、陀螺或谐振子性能参数的国内外研究成果进行了详细阐述。简要对比分析了三种类型微半球谐振陀螺的优缺点,如潜在精度、体积、成本、与IC可集成性、批量化前景等,指出了微半球谐振陀螺目前面临的主要工艺技术问题,并针对此从工艺方案设计、工艺参数优化等方面提出了一些可能的技术解决途径。
- 汪红兵林丙涛梅松江黎江黎
- 关键词：牺牲层精加工Q值
- 一种石英微振动陀螺
- 本发明公开了一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四...
- 林丙涛朱振忠梅松江黎王宾
- 文献传递
- 一种高灵敏度石英微机械陀螺敏感器件被引量：1
- 2016年
- 针对石英晶体各向异性的特点,设计了一种驱动梁为双"W"截面形状的石英音叉微机械陀螺,通过在驱动梁表面凹槽两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了驱动梁内部电场的激励效率和陀螺灵敏度。采用有限元仿真的方法,分析了不同截面形状的驱动梁压电激励力的相对大小,优化设计了陀螺芯片结构参数。依据陀螺芯片的结构,设计了合理的工艺方案并在3英寸石英圆片上制作出了三种驱动梁截面形状的陀螺器件,测试结果表明,相对于矩形驱动梁截面的陀螺芯片,双"W"形驱动梁截面的陀螺芯片的灵敏度提高约60%。
- 林丙涛蒋昭兴江黎赵建华李文蕴
- 关键词：微机械陀螺灵敏度各向异性刻蚀
- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 长寿命高可靠卫星平台用半球谐振陀螺技术
- 方针余波严隆辉蒋春桥方海斌江黎彭慧韩世川贺海平周强胡晓东徐思宇简福斌谭文跃覃施甦
- 该项目重点开展了高品质谐振子超精密加工技术、半球陀螺工艺技术、微振动信号检测以及系统控制环路数字电路技术研究；完成了球面镀膜技术、谐振子化学处理工艺技术、球面抛光工艺、金属薄膜残余应力、系统控制环路电路设计等研究内容；突...
- 关键词：
- 关键词：设计方法抛光工艺
- 石英微机电陀螺的机械耦合误差研究被引量：4
- 2018年
- 石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实验结果表明,通过改进设计,有效抑制了敏感芯片机械耦合误差,提高了陀螺的精度及环境适应性。
- 林日乐李文蕴张桐谢佳维蒋昭兴满欣江黎
- 关键词：石英机械耦合误差
- 一种石英微振动陀螺
- 本发明公开了一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四...
- 林丙涛朱振忠梅松江黎王宾
- SAW-MEMS加速度传感器
- 本实用新型公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽...
- 杨增涛卜继军马晋毅肖凯陈小兵董加和杨正兵冷俊林赵建华王勇江黎
- 文献传递
- 基于平板电极的半球谐振陀螺全角技术研究被引量：4
- 2020年
- 全角模式下的半球谐振陀螺是速率积分陀螺,具有测量范围宽、带宽高和精度高等特点。该文对由谐振子和平板电极组成的两件套半球谐振陀螺的全角模式进行了研究,介绍了全角模式振型控制与信号解算方法;通过FPGA+DSP的构架,实现了全角模式半球谐振陀螺振型控制,并解算了驻波方位角。实验数据证实,研制的两件套半球谐振陀螺样机能够实现速率积分陀螺的功能,测量范围达±400(°)/s,陀螺最大系统漂移20(°)/h。相对于力平衡模式半球谐振陀螺,其拓宽了半球谐振陀螺的测量范围,为进一步提升全角半球谐振陀螺的精度奠定了基础。
- 蒋春桥江黎谭品恒方海斌卜继军
- 关键词：平板电极半球谐振陀螺
- SAW-MEMS加速度传感器及制作方法
- 本发明公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽的硅...
- 杨增涛卜继军马晋毅肖凯陈小兵董加和杨正兵冷俊林赵建华王勇江黎
- 文献传递
