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林鸿涛
作品数:
4
被引量:4
H指数:2
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
于春崎
吉林北方彩晶数码电子有限公司
汪梅林
吉林北方彩晶数码电子有限公司
王丽娟
吉林北方彩晶数码电子有限公司
郭睿
吉林北方彩晶数码电子有限公司
侯旭峰
吉林北方彩晶数码电子有限公司
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作者
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林鸿涛
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郭睿
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汪梅林
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于春崎
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刘伟
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2006
1篇
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a-Si TFT-LCD制造工艺中的ITO返修工艺研究
被引量:2
2006年
列举了不同的a-SiTFT-LCD制造工艺中的ITO返修工艺,详细分析了在五次光刻工艺中的电化学腐蚀问题的反应机理,并对各种返修工艺的优点和缺点进行了简要地说明。
林鸿涛
刘伟
关键词:
A-SI
电化学腐蚀
返修工艺
长期存放条件下TFT阵列基板栅金属线腐蚀原因分析
被引量:3
2006年
在TFT-LCD制造和存放过程中,存在着电化学腐蚀的环境,由于腐蚀速度相对较慢,所以对此现象的认识和研究不足。本文通过实例分析,研究了栅金属电极线在大气环境下的腐蚀现象和机理,并提出了降低腐蚀的措施。
林鸿涛
王鹏
薄膜晶体管液晶显示器制造方法
一种薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,涉及一种薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystal display TFT-LCD)的制造。提供一玻璃基板,在基板表面形成第一层金属层...
邵喜斌
林鸿涛
于春崎
王丽娟
郭睿
侯旭峰
汪梅林
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薄膜晶体管液晶显示器制造方法
一种薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,涉及一种薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystal display TFT-LCD)的制造。提供一玻璃基板,在基板表面形成第一层金属层...
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