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喻先坤
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
河南大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
翟俊霞
河南大学物理与电子学院
张伟风
河南大学物理与电子学院
丁玲红
河南大学物理与电子学院
焦洋
河南大学物理与电子学院
张新安
河南大学物理与电子学院
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焦洋
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翟俊霞
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沟道层厚度对室温制备的In_2O_3薄膜晶体管器件性能的影响(英文)
被引量:1
2013年
在室温下采用直流磁控溅射以SiO2/Si为衬底制备了不同沟道层厚度的底栅式In2O3薄膜晶体管,讨论了沟道层厚度对底栅In2O3薄膜晶体管的电学性能的影响。实验结果表明:器件的特性与沟道层厚度有关,最优沟道层厚度的In2O3薄膜晶体管为增强型,其阈值电压为2.5 V,开关电流比约为106,场效应迁移率为6.2 cm2·V-1·s-1。
焦洋
张新安
翟俊霞
喻先坤
丁玲红
张伟风
关键词:
薄膜晶体管
电学特性
ZnO及In2O3薄膜晶体管的研究
薄膜晶体管是显示器的核心部分,其性能直接关系到显示器的好坏,作为大量应用生产的电子器件,我们对它的研究不能仅局限于提高器件的性能,还应该在薄膜晶体管的制备成本、制备条件、原料来源等方面多加研究。本文主要的研究工作分为三个...
喻先坤
关键词:
喷雾热分解
薄膜晶体管
氧化铟
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